【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造设备，尤其涉及一种离子注入机的水管导向装置以及离子注入机。
技术介绍
1、随着半导体技术的迅速发展，集成电路的制造工艺逐渐复杂，离子注入技术在此过程中扮演了关键角色。离子注入是对半导体表面近区域进行掺杂的手段，其核心目的是通过改变载流子浓度和导电类型来达到改变半导体的电性能。传统的离子注入机主要由离子源、分析磁场、加速/减速系统、聚焦和扫描系统以及工艺腔等主要部件组成。
2、在离子注入过程中，需要把晶圆精确地放置在注入位置。为此，传送机械臂(比如scara arm)，负责将晶圆传送到靶盘，并带动靶盘进行上下移动，确保晶圆表面得到均匀的离子注入。然而，离子注入至晶圆过程中会产生大量的热量，这会导致晶圆过热，从而影响到注入效果和晶圆质量。
3、为了解决这个问题，注入机靶盘通常装备有液体冷却系统。液体冷却系统的水管通常被安置在传送机械臂内部。但是，随着传送机械臂的持续移动，这些水管可能会频繁地弯曲和摩擦，导致它们磨损从而减少使用寿命。
4、因此，为了确保离子注入的高效和稳定，同时延长相关部件的使用寿命，开发一种离子注入机水管导向装置已成为业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请所要解决的技术问题是提供一种离子注入机的水管导向装置以及离子注入机，其在通过对水管的导向确保离子注入的稳定和高效的同时，能降低离子注入机水管的损耗。
2、为了解决上述问题，本申请提供了一种离子注入机的水管导向装置，所述水管导向装置包括：固
3、优选的，所述轴承选自滚珠轴承、滚针轴承、以及滑动轴承中的其中之一。
4、优选的，所述轴承包含第一轴承和第二轴承，所述第一轴承套设在所述固定轴远离所述机身的一端，所述第二轴承套设在所述固定轴靠近所述机身的一端。
5、优选的，所述外壳体的外表面为光滑表面。
6、优选的，所述固定轴的材质为金属。
7、优选的，所述外壳体的材质为特氟龙。
8、为了解决上述问题，本申请提供了一种离子注入机，包括机身、以及设置在机身上的水管导向装置，其中，所述水管导向装置包括：固定件，所述固定件与所述机身固定连接；固定轴，所述固定轴的端面与所述固定件相连；至少一轴承，所述轴承套设固定在所述固定轴外侧；以及外壳体，所述外壳体套设固定在所述轴承外侧且与所述固定轴共轴线，所述外壳体能够通过所述轴承相对于所述固定轴绕着共有的轴线进行转动，所述外壳体用于承托从所述离子注入机中引出的水管。
9、优选的，所述离子注入机的机身包括：一通孔；轴筒，所述轴筒设在所述通孔外侧，所述水管导向装置通过所述固定件固定在所述轴筒的内侧面上，所述固定轴的轴线与所述轴筒的轴线相平行，且所述轴筒与所述通孔同轴，所述轴筒为中空的圆柱状结构，所述轴筒上在所述水管导向装置侧的位置处设有缺口。
10、优选的，所述水管从所述通孔引出，并沿着所述外壳体的外侧面绕行至从所述缺口处后穿出所述轴筒，且缠绕在所述轴筒的外侧面上。
11、上述技术方案通过在机身的轴筒上设置离子注入机的水管导向装置，水管导向装置的所述外壳体借助所述轴承可转动地设置在所述固定轴外侧，所述机身的运动会带动所述水管的移动，可转动的外壳体与水管相接触，将摩擦力转换成滚动摩擦，极大程度降低了水管的损耗，保证了水管的使用寿命和效率。
12、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。
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1.一种离子注入机的水管导向装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述轴承选自滚珠轴承、滚针轴承、以及滑动轴承中的其中之一。
3.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述轴承包含第一轴承和第二轴承，所述第一轴承套设在所述固定轴远离所述机身的一端，所述第二轴承套设在所述固定轴靠近所述机身的一端。
4.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述外壳体的外表面为光滑表面。
5.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述固定轴的材质为金属。
6.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述外壳体的材质为特氟龙。
7.一种离子注入机，其特征在于，包括机身、以及设置在机身上的水管导向装置，其中，所述水管导向装置包括：
8.根据权利要求7所述的离子注入机，其特征在于，所述离子注入机的机身进一步包括：
9.根据权利要求8所述的离子注入机，其特征在于，所述水管从所述通孔引出，
...【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的水管导向装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述轴承选自滚珠轴承、滚针轴承、以及滑动轴承中的其中之一。
3.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述轴承包含第一轴承和第二轴承，所述第一轴承套设在所述固定轴远离所述机身的一端，所述第二轴承套设在所述固定轴靠近所述机身的一端。
4.根据权利要求1所述的离子注入机的水管导向装置，其特征在于，所述外壳体的外表面为光滑表面。
5.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁喜庆，刘纪铨，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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