【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种单向普容tvs器件，具体为一种两层光罩的单向普容tvs器件及其制作方法。
技术介绍
1、tvs器件是一种过压保护器件，当tvs器件的两极受到反向瞬态高能量冲击时，利用其雪崩原理，它能以10的负12次方秒量级的速度，将其两极间的高阻抗变为低阻抗，吸收高达数千瓦的浪涌功率，使两极间的电压箝位于一个预定值，有效地保护电子线路中的精密元器件免受各种浪涌脉冲的损坏。
2、在对两层光罩的单向普容tvs器件的生产加工过程中，需要对其进行金属沉积、刻蚀等工艺，在金属沉积之前，需要对其进行清洗。现有技术的清洗设备在对其进行清洗时，通常采用常规的冲洗等方式，虽然能够完成清洗工作，但是清洗效果较差，且无法进行大批量产品的同步清洗，效率较低，难以满足大规模的生产需求，且清洗过程中无法实现水循环，较为浪费水源。为此，本专利技术这里提出一种两层光罩的单向普容tvs器件及其制作方法。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种两层光罩的单向普容tvs器件。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术提供了如下的技术方案：
3、一种两层光罩的单向普容tvs器件的加工装置，包括外壳，所述外壳左右两侧均开设有侧槽，且所述外壳右侧设置有伺服电机，所述伺服电机左侧固定连接有转杆，所述转杆左端贯穿外壳，并与外壳转动连接，且所述转杆外侧固定连接有若干个转动板，所述外壳左右侧壁靠近顶部处均转动连接有圆轴，两个所述圆轴与转杆之间均设有传动机构，且两个所述圆轴相远离一
4、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述传动机构包括两个槽轮，两个所述槽轮分别套接在圆轴和转杆外侧，且两个所述槽轮外侧共同设置有皮带，两个所述槽轮之间通过皮带传动连接。
5、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述喷洒机构包括两个横架，两个所述横架分别固定连接在外壳顶部靠近左右两侧处，且两个所述横架顶部均固定安装有水泵，两个所述水泵相远离一侧均插接安装有抽水管，所述抽水管远离水泵的一端插接在外壳侧壁靠近底部处，两个所述水泵相对一侧均插接安装有导管，两个所述导管相对一侧共同插接安装有空心板，所述空心板底部上插接安装有若干个喷头。
6、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述活动板底部上固定连接有滑块，所述侧槽内壁底部上开设有滑槽，所述滑块滑动连接在对应滑槽内腔。
7、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述外壳前后两侧均插接安装有两个排水管，两个所述排水管为左右设置，且两个所述排水管上均安装有阀门。
8、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述连接板和活动板上共同螺纹连接有两个固定栓。
9、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述伺服电机底部固定连接有支架，所述支架与外壳侧壁固定连接。
10、一种两层光罩的单向普容tvs器件的制备方法，包括以下步骤：
11、s1：衬底材料准备：外延片的衬底采用p型晶向，硼元素掺杂，电阻率通常在0.003-0.004ω.cm.在衬底做外延生长，所生长的外延电阻率和厚度，由不同的器件耐压决定。通常外延厚度：6-20um，外延电阻率：0.013～0.5ω.cm，器件耐压可以达到5v-36v；
12、s2：初氧生长：在圆片表面生长一层sio2，厚度为6500～10000埃,做为掺杂或注入的阻挡层；
13、s3：基区形成：通过使用基区注入版光刻、刻蚀初氧；形成基区的窗口，通过掺杂或注入加高温推进形成n型区域，掺杂控制在9～11方块电阻，注入能量为60～80kev，剂量为8e14～1.4e15，推进条件1100℃/120min；
14、s4：金属淀积、刻蚀：在金属淀积之前进行清洗，将圆片表面的氧化层去掉500～100a，沉积厚度为4um金属铝，铝中可掺杂一定比例的cu，防止铝硅互溶，然后光刻腐蚀铝；
15、s5：钝化层淀积、刻蚀，钝化层为sro和srn共淀积10ka，使用基区注入版光刻、刻蚀形成钝化层开窗；
16、s6：背面ti-ni-ag：减薄圆片背面到150um左右，在背面蒸发ti-ni-ag。
17、本专利技术实施例提供了一种两层光罩的单向普容tvs器件，具备以下有益效果：
18、1、通过设置有放置板、伺服电机和转杆，在将待清洗加工的tvs器件放置在对应的放置槽内部后，驱动伺服电机，使得伺服电机带动转杆转动，转杆带动外侧多个转动板对外壳内部清洗液进行搅动，同时转杆还带动两端处的底部槽轮转动，底部槽轮通过皮带带动顶部槽轮转动，顶部槽轮带动圆轴转动，圆轴带动齿轮转动，齿轮带动齿条移动，齿条带动活动板移动，活动板带动连接板移动，两个连接板共同带动u形架上的多个放置板在外壳内部反复前后移动，与转动板的搅动配合，使得清洗液反复对tvs器件冲刷，实现良好的清洗效果。
19、2、通过设置有水泵、抽水管、导管和喷头，启动水泵，使得水泵利用抽水管抽取外壳内部清洗液，再顺着导管进入空心板内部，并顺着空心板底部的喷头至上而下喷出，与前后移动的tvs器件配合，实现更好的清洗效果，且喷洒下来的清洗液再次流入外壳内部，实现循环。
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1.一种两层光罩的单向普容TVS器件的加工装置，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)左右两侧均开设有侧槽(4)，且所述外壳(1)右侧设置有伺服电机(13)，所述伺服电机(13)左侧固定连接有转杆(14)，所述转杆(14)左端贯穿外壳(1)，并与外壳(1)转动连接，且所述转杆(14)外侧固定连接有若干个转动板(15)，所述外壳(1)左右侧壁靠近顶部处均转动连接有圆轴(18)，两个所述圆轴(18)与转杆(14)之间均设有传动机构，且两个所述圆轴(18)相远离一端均固定连接有齿轮(19)，两个所述齿轮(19)顶部均啮合有齿条(20)，两个所述齿条(20)顶部均固定连接有活动板(21)，所述活动板(21)远离齿条(20)的一侧贯穿侧槽(4)，并与侧槽(4)内壁底部活动连接，且两个所述活动板(21)相对一侧均固定安装有连接板(22)，两个所述连接板(22)之间固定连接有圆杆(28)，且两个所述连接板(22)上共同插接安装有U形架(24)，所述U形架(24)内壁底部上固定安装有若干个放置板(25)，所述放置板(25)顶部上开设有若干个放置槽(26)，所述放置槽(26)内壁底部上开设有若
2.根据权利要求1所述的一种两层光罩的单向普容TVS器件的加工装置，其特征在于，所述传动机构包括两个槽轮(16)，两个所述槽轮(16)分别套接在圆轴(18)和转杆(14)外侧，且两个所述槽轮(16)外侧共同设置有皮带(17)，两个所述槽轮(16)之间通过皮带(17)传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种两层光罩的单向普容TVS器件的加工装置，其特征在于，所述喷洒机构包括两个横架(5)，两个所述横架(5)分别固定连接在外壳(1)顶部靠近左右两侧处，且两个所述横架(5)顶部均固定安装有水泵(6)，两个所述水泵(6)相远离一侧均插接安装有抽水管(7)，所述抽水管(7)远离水泵(6)的一端插接在外壳(1)侧壁靠近底部处，两个所述水泵(6)相对一侧均插接安装有导管(8)，两个所述导管(8)相对一侧共同插接安装有空心板(9)，所述空心板(9)底部上插接安装有若干个喷头(10)。
4.根据权利要求1所述的一种两层光罩的单向普容TVS器件的加工装置，其特征在于，所述活动板(21)底部上固定连接有滑块(30)，所述侧槽(4)内壁底部上开设有滑槽(29)，所述滑块(30)滑动连接在对应滑槽(29)内腔。
5.根据权利要求1所述的一种两层光罩的单向普容TVS器件的加工装置，其特征在于，所述外壳(1)前后两侧均插接安装有两个排水管(2)，两个所述排水管(2)为左右设置，且两个所述排水管(2)上均安装有阀门(3)。
6.根据权利要求1所述的一种两层光罩的单向普容TVS器件的加工装置，其特征在于，所述连接板(22)和活动板(21)上共同螺纹连接有两个固定栓(23)。
7.根据权利要求1所述的一种两层光罩的单向普容TVS器件的加工装置，其特征在于，所述伺服电机(13)底部固定连接有支架(12)，所述支架(12)与外壳(1)侧壁固定连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种两层光罩的单向普容TVS器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种两层光罩的单向普容tvs器件的加工装置，包括外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)左右两侧均开设有侧槽(4)，且所述外壳(1)右侧设置有伺服电机(13)，所述伺服电机(13)左侧固定连接有转杆(14)，所述转杆(14)左端贯穿外壳(1)，并与外壳(1)转动连接，且所述转杆(14)外侧固定连接有若干个转动板(15)，所述外壳(1)左右侧壁靠近顶部处均转动连接有圆轴(18)，两个所述圆轴(18)与转杆(14)之间均设有传动机构，且两个所述圆轴(18)相远离一端均固定连接有齿轮(19)，两个所述齿轮(19)顶部均啮合有齿条(20)，两个所述齿条(20)顶部均固定连接有活动板(21)，所述活动板(21)远离齿条(20)的一侧贯穿侧槽(4)，并与侧槽(4)内壁底部活动连接，且两个所述活动板(21)相对一侧均固定安装有连接板(22)，两个所述连接板(22)之间固定连接有圆杆(28)，且两个所述连接板(22)上共同插接安装有u形架(24)，所述u形架(24)内壁底部上固定安装有若干个放置板(25)，所述放置板(25)顶部上开设有若干个放置槽(26)，所述放置槽(26)内壁底部上开设有若干个圆孔(27)，两个所述连接板(22)顶部共同设置有喷洒机构，所述外壳(1)内壁底部上固定连接有导流板(11)，所述导流板(11)呈三角形设置，且所述导流板(11)的尖端朝上设置。
2.根据权利要求1所述的一种两层光罩的单向普容tvs器件的加工装置，其特征在于，所述传动机构包括两个槽轮(16)，两个所述槽轮(16)分别套接在圆轴(18)和转杆(14)外侧，且两个所述槽轮(16)外侧共同设置有皮带(17)，两个所述槽轮(16)之间通过皮带(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴磊，陶瑞龙，胡兴正，薛璐，
申请(专利权)人：滁州华瑞微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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