【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨烯，具体为一种石墨烯加工用气相沉积炉。
技术介绍
1、化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺。
2、专利申请号为cn202220301533.3的一种用于石墨烯化学加工用气相沉积炉，通过在整个装置上设置排气装置，利用真空泵的吸附作用，吸气罩在气相沉积炉主体内进行抽吸，依次经过一号抽管与二号抽管至排气箱内，并由过滤组件进行过滤排出，使得气相沉积炉主体内气场变的均匀，增加炉内气场的均匀性，从而达到了提高沉积效率的目的，但是该装置在使用时炉内气体在传输净化过程中，容易产生泄漏的现象，且气体也会容易从进料口飘出，不能达到有效封闭净化的效果。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种石墨烯加工用气相沉积炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种石墨烯加工用气相沉积炉，包括炉体和净化组件，所述净化组件设置于所述炉体的顶部，还包括设置于所述炉体外侧的控制器、设置于所述炉体外侧的放料件、设置于所述炉体内腔的驱动件、固定于所述炉体底部的支撑件、固定于所述炉体外侧的第四密封圈、用于连通所述炉体的排料管，以及设置于所述排料管内壁的控制阀；所述净化组件包括固定于所述炉体顶部的收集件，以及设置于所述收集件内部的密封件。
3、优选的，所述放料件包括固定于炉体外侧的进料斗、转动连接于所述进料斗内壁的弹性转杆，以及固定于所述弹性转杆外侧的密封板。
4、优选的，所述驱动
5、优选的，所述收集件包括固定于所述炉体顶部的收集箱、固定于收集箱一侧的第二密封圈、连通于所述收集箱内壁的输气管、设置于所述输气管内壁的截止阀、固定于炉体顶部的第三密封圈，以及连通于所述输气管一端的吸气罩。
6、优选的，所述密封件包括固定于所述收集箱内壁的支撑块、开设于所述支撑块顶部的密封槽、设置于所述收集箱内部的矩形框、开设于所述收集箱内壁的滑槽、固定于所述矩形框外侧的滑块、固定于所述滑块顶部的连接块、固定于连接块顶部的拉杆，以及固定于矩形框内壁的活性炭网。
7、优选的，所述支撑件包括固定于所述炉体底部的架体、开设于所述架体一侧的凹槽、开设于所述架体内壁的安装槽、固定于所述架体底部的支撑柱，以及固定于所述支撑柱底部的耐磨垫。
8、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
9、本技术通过设置净化组件和放料件可有效对石墨烯产生的气体进行净化处理，防止对环境造成污染，且在净化过程中可有效密封，防止泄漏，解决了现有的石墨烯加工用气相沉积炉在使用时炉内气体在传输净化过程中，容易产生泄漏的现象，且气体也会容易从进料口飘出，不能达到有效封闭净化的问题。
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1.一种石墨烯加工用气相沉积炉，包括炉体(1)和净化组件(5)，所述净化组件(5)设置于所述炉体(1)的顶部，其特征在于：还包括设置于所述炉体(1)外侧的控制器(2)、设置于所述炉体(1)外侧的放料件(3)、设置于所述炉体(1)内腔的驱动件(4)、固定于所述炉体(1)底部的支撑件(6)、固定于所述炉体(1)外侧的第四密封圈(7)、用于连通所述炉体(1)的排料管(8)，以及设置于所述排料管(8)内壁的控制阀(9)；
2.根据权利要求1所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述放料件(3)包括固定于炉体(1)外侧的进料斗(31)、转动连接于所述进料斗(31)内壁的弹性转杆(32)，以及固定于所述弹性转杆(32)外侧的密封板(33)。
3.根据权利要求1所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述驱动件(4)包括固定于所述支撑件(6)内壁的电机(41)、设置于所述电机(41)输出端外侧的第一密封圈(42)、固定于所述电机(41)输出端的转轴(43)、转动连接于所述转轴(43)外侧的轴承(44)、固定于所述转轴(43)外侧的延伸板(45)，以及固定于
4.根据权利要求1所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述收集件(51)包括固定于所述炉体(1)顶部的收集箱(511)、固定于收集箱(511)一侧的第二密封圈(512)、连通于所述收集箱(511)内壁的输气管(513)、设置于所述输气管(513)内壁的截止阀(514)、固定于炉体(1)顶部的第三密封圈(515)，以及连通于所述输气管(513)一端的吸气罩(516)。
5.根据权利要求4所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述密封件(52)包括固定于所述收集箱(511)内壁的支撑块(521)、开设于所述支撑块(521)顶部的密封槽(522)、设置于所述收集箱(511)内部的矩形框(523)、开设于所述收集箱(511)内壁的滑槽(524)、固定于所述矩形框(523)外侧的滑块(525)、固定于所述滑块(525)顶部的连接块(526)、固定于连接块(526)顶部的拉杆(527)，以及固定于矩形框(523)内壁的活性炭网(528)。
6.根据权利要求1所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述支撑件(6)包括固定于所述炉体(1)底部的架体(61)、开设于所述架体(61)一侧的凹槽(62)、开设于所述架体(61)内壁的安装槽(63)、固定于所述架体(61)底部的支撑柱(64)，以及固定于所述支撑柱(64)底部的耐磨垫(65)。
...【技术特征摘要】
1.一种石墨烯加工用气相沉积炉，包括炉体(1)和净化组件(5)，所述净化组件(5)设置于所述炉体(1)的顶部，其特征在于：还包括设置于所述炉体(1)外侧的控制器(2)、设置于所述炉体(1)外侧的放料件(3)、设置于所述炉体(1)内腔的驱动件(4)、固定于所述炉体(1)底部的支撑件(6)、固定于所述炉体(1)外侧的第四密封圈(7)、用于连通所述炉体(1)的排料管(8)，以及设置于所述排料管(8)内壁的控制阀(9)；
2.根据权利要求1所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述放料件(3)包括固定于炉体(1)外侧的进料斗(31)、转动连接于所述进料斗(31)内壁的弹性转杆(32)，以及固定于所述弹性转杆(32)外侧的密封板(33)。
3.根据权利要求1所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述驱动件(4)包括固定于所述支撑件(6)内壁的电机(41)、设置于所述电机(41)输出端外侧的第一密封圈(42)、固定于所述电机(41)输出端的转轴(43)、转动连接于所述转轴(43)外侧的轴承(44)、固定于所述转轴(43)外侧的延伸板(45)，以及固定于所述延伸板(45)顶部的加热棒(46)。
4.根据权利要求1所述的一种石墨烯加工用气相沉积炉，其特征在于：所述收...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵兵，付善任，康晓丽，
申请(专利权)人：上海岚玥新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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