【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及热丝加热器加工，具体为一种热丝加热器化学加工处理方法。
技术介绍
1、真空电子器件阴极是在真空电子器件中用于产生电子发射的电子源，电子源除了装配在电子束光刻机，助力光刻领域以外，在电子显微镜、电子束光刻机、x射线设备等高端仪器上也还有诸多应用，同时助力医疗、科研、工业等领域，按供给能量的方式划分，阴极一般可分为热阴极、次极发射阴极、光电阴极等，真空电子器件要求阴极具有发射电流密度大、稳定、寿命长等性能。
2、热丝加热器是热阴极的一种，其具有简单的结构、较大的电流密度等优点，通过加热使热丝加热器保持在工作温度，保证两引出腿芯丝起点平齐是保证电子源正常工作的关键，平齐的端口能够保证电子源在工作过程中较低的短路概率。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种热丝加热器化学加工处理方法，解决了现有热丝加热器的引腿尖端导致热阴极工作不稳定的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种热丝加热器化学加工处理方法，包括如下步骤：
5、s1、夹持工装对热丝加热器进行夹持，夹持工装上夹持的热丝加热器两引出腿芯丝水平；
6、s2、升降驱动机构通过夹持工装将热丝加热器两引出腿芯丝下降至处理箱内腐蚀液的液面以下，直至引出腿芯丝起点，腐蚀至少60分钟至引出腿芯丝以下芯丝被完全腐蚀，腐蚀切口平齐；
7、s3、用反向镊子夹持热丝
8、s4、用反向镊子夹持热丝加热器，放入烧杯中，将烧杯放置于烘箱中60℃-80℃，加热至水分完全蒸发。
9、优选的，所述夹持工装包括升降台，所述升降台的底部开设有固定槽，所述升降台底部的两侧均开设有安装槽，且安装槽内壁的顶部固定连接有气缸，所述气缸输出轴的一端设置有连接件，所述连接件的一侧通过安装杆设置有第一夹板，所述安装杆的一侧通过凹槽设置有弹性件，所述固定槽内壁的一侧通过连接杆设置有第二夹板。
10、优选的，所述连接件包括与气缸输出轴一端相固定的活动板，所述活动板滑动设置在安装槽内壁的一侧，所述活动板远离气缸的一侧固定连接有延伸杆，所述延伸杆远离活动板的一端与弹性件固定连接。
11、优选的，所述第一夹板与第二夹板相对的一侧均粘接有橡胶垫，所述第一夹板与第二夹板相背离的一侧均设置有安装组件。
12、优选的，所述安装组件包括固定杆，所述安装杆的另一侧开设有插槽，所述第一夹板的外侧固定连接有插槽相适配的插杆，所述固定杆的底端贯穿插杆并延伸至安装杆的外部，所述固定杆延伸至安装杆外部一端的表面开设有通槽，且通槽内壁的两侧均滑动设置有卡块，两个所述卡块相对的一侧之间固定连接有弹簧。
13、优选的，所述升降驱动机构的正面滑动设置有加工台，且处理箱的底部固定在加工台顶部的一侧，所述夹持工装固定在升降驱动机构的下方。
14、优选的，所述加工台顶部的另一侧固定连接有放置台，且放置台的顶部开设有放置孔，且放置孔内壁的底部设置有两个引出腿芯丝插孔。
15、优选的，所述步骤s2中的腐蚀液是由双氧水、甲酸按体积比4-2:1混合制备而得。
16、(三)有益效果
17、本专利技术提供了一种热丝加热器化学加工处理方法。具备以下有益效果：
18、(1)、该热丝加热器化学加工处理方法，通过将热丝加热器放入夹持工装中，利用工装将热丝加热器下降至两引出腿芯丝至腐蚀液液面以下，至引出腿芯丝起点，腐蚀至少60分钟至引出腿芯丝以下芯丝被完全腐蚀，腐蚀切口平齐，平齐的端口能够降低电子源在工作过程中发生短路的概率。
19、(2)、该热丝加热器化学加工处理方法，通过在升降台下设置多个固定槽，固定槽内设置有夹板，使得化学加工时能够一次性夹持多个热死加热器，提升加工的效率，且气缸驱动第一夹板进行夹持时，通过弹性件和橡胶垫能够为工件提供一个弹性夹持力，防止气缸夹持力度过大对热丝加热器造成损伤。
20、(3)、该热丝加热器化学加工处理方法，通过将卡块按压进通槽内，挤压弹簧，即可将固定杆抽出安装杆，便于根据热丝加热器的尺寸和形状对夹板的形状进行对应更换，保证夹板与工件的贴合度，提升夹持精度和稳定性。
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1.一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述夹持工装包括升降台(3)，所述升降台(3)的底部开设有固定槽(4)，所述升降台(3)底部的两侧均开设有安装槽(5)，且安装槽(5)内壁的顶部固定连接有气缸(6)，所述气缸(6)输出轴的一端设置有连接件，所述连接件的一侧通过安装杆(7)设置有第一夹板(8)，所述安装杆(7)的一侧通过凹槽(9)设置有弹性件(25)，所述固定槽(4)内壁的一侧通过连接杆(10)设置有第二夹板(11)。
3.根据权利要求2所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述连接件包括与气缸(6)输出轴一端相固定的活动板(12)，所述活动板(12)滑动设置在安装槽(5)内壁的一侧，所述活动板(12)远离气缸(6)的一侧固定连接有延伸杆(13)，所述延伸杆(13)远离活动板(12)的一端与弹性件固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述第一夹板(8)与第二夹板(11)相对的一侧均粘接有橡胶垫(1
5.根据权利要求2所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述第一夹板(8)与第二夹板(11)相背离的一侧均设置有安装组件，所述安装组件包括固定杆(15)，所述安装杆(7)的另一侧开设有插槽(16)，所述第一夹板(8)的外侧固定连接有插槽(16)相适配的插杆(17)，所述固定杆(15)的底端贯穿插杆(17)并延伸至安装杆(7)的外部，所述固定杆(15)延伸至安装杆(7)外部一端的表面开设有通槽(18)，且通槽(18)内壁的两侧均滑动设置有卡块(19)，两个所述卡块(19)相对的一侧之间固定连接有弹簧(20)。
6.根据权利要求1所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述升降驱动机构(1)的正面滑动设置有加工台(21)，且处理箱(2)的底部固定在加工台(21)顶部的一侧，所述夹持工装固定在升降驱动机构(1)的下方。
7.根据权利要求6所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述加工台(21)顶部的另一侧固定连接有放置台(22)，且放置台(22)的顶部开设有放置孔(23)，且放置孔(23)内壁的底部设置有两个引出腿芯丝插孔(24)。
8.根据权利要求1所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述步骤S2中的腐蚀液是由双氧水、甲酸按体积比4-2:1混合制备而得。
...【技术特征摘要】
1.一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述夹持工装包括升降台(3)，所述升降台(3)的底部开设有固定槽(4)，所述升降台(3)底部的两侧均开设有安装槽(5)，且安装槽(5)内壁的顶部固定连接有气缸(6)，所述气缸(6)输出轴的一端设置有连接件，所述连接件的一侧通过安装杆(7)设置有第一夹板(8)，所述安装杆(7)的一侧通过凹槽(9)设置有弹性件(25)，所述固定槽(4)内壁的一侧通过连接杆(10)设置有第二夹板(11)。
3.根据权利要求2所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述连接件包括与气缸(6)输出轴一端相固定的活动板(12)，所述活动板(12)滑动设置在安装槽(5)内壁的一侧，所述活动板(12)远离气缸(6)的一侧固定连接有延伸杆(13)，所述延伸杆(13)远离活动板(12)的一端与弹性件固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：所述第一夹板(8)与第二夹板(11)相对的一侧均粘接有橡胶垫(14)。
5.根据权利要求2所述的一种热丝加热器化学加工处理方法，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑磊，王健，梁中鼎，郑克亮，方琦，杨韬，喻永生，
申请(专利权)人：安徽科昂新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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