【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种,尤其是一种适用于石英坩埚的高纯石英 砂的制备方法。
技术介绍
石英玻璃因为它具有一系列特殊的物理、化学性能,如耐高温性能、热膨胀率极小 性能、极佳的光谱特性能、耐酸性能和极好的电绝缘性能,石英玻璃被广泛地应用在制造集 成电路中,石英玻璃的主要产品为大规模集成电路用高纯耐高温石英玻璃管、电弧法石英 坩埚(太阳能级和半导体级)、光通讯用石英玻璃和电光源用石英玻璃。石英玻璃的主要原材料是高纯石英砂,高纯石英砂具有极好的化学稳定性、高绝 缘耐压能力和极低的体膨胀系数。是电子核心器件、光导通讯材料、太阳能电池等高新技术 产业不可缺少的重要原材料,是生产石英坩埚、制造单晶硅棒容器、芯片的基础原料,高纯 石英砂一般是指Si02,含量高于99. 99 %的石英粉,是石英玻璃和石英坩埚的主要原料,其 高档产品被广泛应用在大规模集成电路、太阳能电池、光纤、激光、航天、军事等行业中。特别是应用在石英坩埚中,石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单 晶硅就用掉一只石英坩埚,因为单晶硅是生产大规模集成电路和太阳能电池的主要原料, 所以对石英坩埚的要求十分苛刻,按 ...
【技术保护点】
一种制备高纯石英砂的方法;其特征是:(1)、石英矿石的人工分选通过人工,把石英矿石使用机械方法,分成尺寸为30mm×30mm大小的块状,再进行分选,将透明的石英矿石块分为一级、半透明的石英矿石块分为二级、白色不透明的石英矿石块分为三级,分类放置在周转容器中;(2)、石英矿石的粗洗把经过人工分选的石英矿石放到清洗池中,清水浸泡,进行清洗,用肉眼观察石英矿石块的表面,无明显杂质;(3)、石英矿石的煅烧把经过粗洗的石英矿石放到煅烧炉中,先经过炉温为840-880℃的加热Ⅱ区、再经过炉温为890-910℃的加热Ⅰ区、进行加热时间为50-60分钟的煅烧,出料时,肉眼观察石英矿石块的颜 ...
【技术特征摘要】
一种制备高纯石英砂的方法;其特征是(1)、石英矿石的人工分选通过人工,把石英矿石使用机械方法,分成尺寸为30mm×30mm大小的块状,再进行分选,将透明的石英矿石块分为一级、半透明的石英矿石块分为二级、白色不透明的石英矿石块分为三级,分类放置在周转容器中;(2)、石英矿石的粗洗把经过人工分选的石英矿石放到清洗池中,清水浸泡,进行清洗,用肉眼观察石英矿石块的表面,无明显杂质;(3)、石英矿石的煅烧把经过粗洗的石英矿石放到煅烧炉中,先经过炉温为840 880℃的加热II区、再经过炉温为890 910℃的加热I区、进行加热时间为50 60分钟的煅烧,出料时,肉眼观察石英矿石块的颜色发红;(4)、石英矿石的水淬把经过煅烧的石英矿石放到冷却水池中,进行水淬;(5)、石英矿石的粉碎把经过水淬的石英矿石,粉碎至粒度为0.4 0.1mm石英砂;(6)、石英矿石的精洗把经过粉碎的石英矿砂,放到反应罐中,依次,往反应罐加入占反应罐容积的65 75%的纯净级别为14.5 15.5兆的超纯水,再往反应罐中加入与超纯水的体积百分比为30% 40%石英砂,后往反应罐注入浓度为35 37%浓盐酸或盐酸与氢氟酸的混合物,浓盐酸或盐酸与氢氟酸的混合物的体...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑运岭,范中峰,
申请(专利权)人:山东海友工贸有限公司,
类型:发明
国别省市:37[中国|山东]
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