【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光电探测微系统，特别涉及一种红外探测微系统的制备方法及红外探测微系统。
技术介绍
1、以红外焦平面器件为典型代表的光电探测微系统，在气象预报、大气检测、地球资源普查、地形精确测绘、空间遥感等领域发挥着日益重要的作用。碲镉汞红外探测器由于其材料光吸收大、量子效率高、器件光响应大、响应速度快，成为红外探测领域的典型产品之一。
2、为了顺应搭载平台小型化和智能化的发展趋势，光电探测微系统需要在低体积低重量下拥有更丰富的功能。为此，现有技术将偏振微纳光学结构与红外探测器芯片集成得到相应的红外探测微系统，使得该红外探测微系统能够同时获取光场的强度信息和偏振信息，既克服了传统光电探测系统体积重量劣势，又充分利用目标偏振光信息特征提高了系统在复杂场景下的探测能力。
3、目前，集成有偏振微纳结构的红外探测微系统的制备方案主要包括两种：一种方案是直接在红外探测器芯片上制备偏振微纳光学结构，然而，受限于碲镉汞材料的敏感和物理性能脆弱，该方案极易导致碲镉汞红外探测器的性能下降；另一种方案是将偏振微纳光学结构在其他衬底上制备完...
【技术保护点】
1.一种红外探测微系统的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述利用电化学阳极反应剥离所述初始红外探测微系统中的所述衬底，包括：
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述预设电解质溶液为氯化钠水溶液。
4.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，在将所述初始偏振微纳结构倒装在所述碲镉汞红外探测器的入射面上之前，所述制备方法还包括：
5.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述牺牲层的材料为聚对二甲苯，所述牺牲层的厚度范围为1μm-2
...
【技术特征摘要】
1.一种红外探测微系统的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述利用电化学阳极反应剥离所述初始红外探测微系统中的所述衬底，包括：
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述预设电解质溶液为氯化钠水溶液。
4.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，在将所述初始偏振微纳结构倒装在所述碲镉汞红外探测器的入射面上之前，所述制备方法还包括：
5.根据权利要求1至3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述牺牲层的材料为聚对二甲苯，所述牺牲层的厚度范围为1μm-2μm。
6.根据权利要求1至3任一项所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李慧津，彭志龙，刘帅，李楠，王伟平，胡小燕，操俊，詹伟，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司信息科学研究院，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。