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本公开实施例涉及光电探测微系统领域，提供一种红外探测微系统的制备方法及红外探测微系统，制备方法包括：提供衬底和碲镉汞红外探测器；在衬底上沉积牺牲层；在牺牲层上溅射淀积金属层；通过光刻工艺在金属层制作偏振对准标记和线栅偏振阵列得到初始偏振微纳...
该专利属于中国电子科技集团公司信息科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司信息科学研究院授权不得商用。

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