探针卡、探针台以及探针卡应用方法技术

本申请涉及晶圆测试领域，旨在解决如何提升探针卡信号质量的问题，提供探针卡、探针台以及探针卡应用方法。探针卡包括基板和连接板。基板的表面设有第一焊盘。连接板设于基板靠近第一焊盘的一侧，连接板设有第二焊盘，第二焊盘与第一焊盘相对设置，第二焊盘包括接触盘，接触盘被构造成导通第一焊盘或者屏蔽第一焊盘的结构，接触盘在导通第一焊盘时，第一焊盘电连接于探针台的信号板，接触盘在屏蔽第一焊盘时，接触盘代替第一焊盘并且电连接于探针台的信号板。本实施例的探针卡通过接触盘与第一焊盘导通或者屏蔽，接触盘能够代替第一焊盘并且电连接于探针台的信号板，以达到快速提升探针卡信号质量的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆测试领域，具体而言，涉及探针卡、探针台以及探针卡应用方法。

技术介绍

1、在芯片进行电信测试时，例如wat(wafer acceptance test)或者cp(circuitprobing)测试。以封装之前需要进行cp(circuit probing)测试为例，cp测试设备包括测试机和探针台，测试机通过探针台检测芯片。探针台包括探针卡，探针卡是由多层印刷线路板压合成。探针卡的尺寸以及内部信号走线要求极为严格，探针卡的制板生产周期长、制造成本高。

2、现有技术中，探针卡内部线路密度高、信号定义复杂，当探针卡存在信号错误与信号质量不良的情况时，会影响探针卡的使用。如何解决上述技术问题，是本领域技术人员需要考虑的。

技术实现思路

1、本申请提供探针卡、探针台以及探针卡应用方法，以解决如何提升探针卡信号质量的问题。

2、第一方面，本实施例提供一种探针卡，包括基板和连接板。基板的表面设有第一焊盘。连接板设于所述基板靠近所述第一焊盘的一侧，所述连接板设有第二焊盘，所述第二焊盘与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针卡，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1中所述的探针卡，其特征在于：

3.根据权利要求2中所述的探针卡，其特征在于：

4.根据权利要求3中所述的探针卡，其特征在于：

5.根据权利要求2中所述的探针卡，其特征在于：

6.根据权利要求5中所述的探针卡，其特征在于：

7.根据权利要求1中所述的探针卡，其特征在于：

8.根据权利要求1中所述的探针卡，其特征在于：

9.根据权利要求7或8中所述的探针卡，其特征在于：

10.一种探针台，其特征在于，包括：>

11.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种探针卡，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1中所述的探针卡，其特征在于：

3.根据权利要求2中所述的探针卡，其特征在于：

4.根据权利要求3中所述的探针卡，其特征在于：

5.根据权利要求2中所述的探针卡，其特征在于：

6.根据权利要求5中所述的探针卡，其特征在于：

7.根据权利要求1中所述的探针卡，...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯亚东，李根柱，
申请(专利权)人：上海精积微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：