【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精密测量的传输，尤其涉及一种传输电路。
技术介绍
1、随着半导体技术和加工工艺的发展，特别是为了满足纳米级制程的要求，对半导体元件的测量的系统需要具备更高的精度，以实现fa级别的电流测量。然而，现有技术在高精度测量中面临诸多挑战，例如，在采样信号的测量系统中，一般采用电缆作为测量系统中的传输元件，电缆在信号传输过程中会出现漏流，这种漏流会随着测量系统中的电缆的加长和测量系统中的电流增加而加剧，最终影响测量精度。这些漏流可能达到pa甚至na级别，严重时会导致对半导体测试的失败。
2、目前的高精度测量中通常推荐使用三同轴电缆传输技术以降低漏流，三同轴电缆通过其多层屏蔽和高绝缘电阻设计，能够在一定程度上减少漏流。然而，这种方法并不能完全消除漏流问题，尤其在要求更高精度的应用中，其效果有限。在极高精度测量场景中，即使微小的漏流也会对测量结果产生显著影响，导致测量误差。
3、需要说明的是，上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息
【技术保护点】
1.一种传输电路，其特征在于，所述传输电路与外部源电路、负载电路相连，包括：
2.根据权利要求1所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还与测量模块相连，所述传输电路还包括：
3.根据权利要求2所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还包括：
4.根据权利要求3所述的传输电路，其特征在于，所述第二电缆还包括第二内屏蔽层，所述第二内屏蔽层围绕所述第二芯线，且设置于所述第二芯线和所述第二外屏蔽层之间，且所述第二内屏蔽层与所述第二芯线之间设置有第二绝缘层，所述第二内屏蔽层的第二端与所述第四信号驱动模块输出端连接；
5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种传输电路，其特征在于，所述传输电路与外部源电路、负载电路相连，包括：
2.根据权利要求1所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还与测量模块相连，所述传输电路还包括：
3.根据权利要求2所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还包括：
4.根据权利要求3所述的传输电路，其特征在于，所述第二电缆还包括第二内屏蔽层，所述第二内屏蔽层围绕所述第二芯线，且设置于所述第二芯线和所述第二外屏蔽层之间，且所述第二内屏蔽层与所述第二芯线之间设置有第二绝缘层，所述第二内屏蔽层的第二端与所述第四信号驱动模块输出端连接；
5.根据权利要求4中所述的传输电路，其特征在于，所述第一信号驱动模块至所述第四信号驱动模块，分别实时跟踪对应接收到的信号的电压，使得所述第一信号驱动模块至所述第四信号驱动模块输出的电压信号相比于各自输入的电压信号在误差范围内。
6.根据权利要求2所述的传输电路，其特征在于，所述传输电...
【专利技术属性】
技术研发人员：周代彬，李根柱，余振洪，余乐，
申请(专利权)人：上海精积微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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