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本申请涉及晶圆测试领域,旨在解决如何提升探针卡信号质量的问题,提供探针卡、探针台以及探针卡应用方法。探针卡包括基板和连接板。基板的表面设有第一焊盘。连接板设于基板靠近第一焊盘的一侧,连接板设有第二焊盘,第二焊盘与第一焊盘相对设置,第二焊盘包...该专利属于上海精积微半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海精积微半导体技术有限公司授权不得商用。
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本申请涉及晶圆测试领域,旨在解决如何提升探针卡信号质量的问题,提供探针卡、探针台以及探针卡应用方法。探针卡包括基板和连接板。基板的表面设有第一焊盘。连接板设于基板靠近第一焊盘的一侧,连接板设有第二焊盘,第二焊盘与第一焊盘相对设置,第二焊盘包...