【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压力平衡，尤其是涉及一种用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置及其运行方法，主要用于平衡干式无油真空泵的壳体和后盖板之间的压力。
技术介绍
1、真空泵是指将容器抽取介质并进行压缩从而获得真空的器件或设备，目前旋转式真空泵分为油封式真空泵、液环真空泵、干式真空泵、罗茨真空泵。而干式真空泵主要适用于半导体行业、化工行业、制药工业以及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
2、干式螺杆真空泵主要存在以下问题：1、干式螺杆真空泵壳体与后盖板压力不平衡，存在压差，从而加快油封的磨损；2、干式螺杆真空泵壳体与后盖板通过打孔，使得两个腔体内的压力平衡，但是后盖板的油可能会雾化从而通过这些孔而进入壳体。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理，保证壳体和后盖板内的压力处于平衡状态，减缓油封磨损的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置及其运行方法。
2、本专利技术解决上述问题所采用的技术方案是：该用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置包括出气管，其结构特点在于：还包括过滤底座、过滤接头、过滤棉、硅胶垫片、不锈钢垫片、滤芯、管接头和进气管，所述过滤底座和过滤接头固定，且在过滤底座和过滤接头之间形成过滤腔，所述过滤棉、硅胶垫片、不锈钢垫片和滤芯均安装在过滤腔内，该过滤棉、硅胶垫片、不锈钢垫片和滤芯沿着从过滤接头到过滤底座的方向依次排列；所述出气管的一端通过管接头连接在干式螺杆真空泵的后盖板的油箱腔体上，该出气管的另一端通过管接头
3、作为优选，本专利技术还包括弹簧，所述弹簧安装在过滤腔内，该弹簧位于滤芯和过滤底座之间。
4、作为优选，本专利技术所述过滤接头中包含有o型圈。
5、作为优选，本专利技术所述过滤底座和过滤接头通过螺纹固定。
6、作为优选，本专利技术所述过滤棉的数量为2～6层。
7、作为优选，本专利技术位于出气管的一端的管接头通过螺纹连接在后盖板的油箱腔体上，位于出气管的另一端的管接头通过螺纹连接在过滤接头上；位于进气管的一端的管接头通过螺纹连接在壳体的吸气腔上，位于进气管的另一端的管接头通过螺纹连接在过滤底座上。
8、一种用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置的运行方法，其特点在于：干式螺杆真空泵在运行时，所述压力平衡装置连通壳体的吸气腔和后盖板的油箱腔体，油箱腔体内部的气压高于吸气腔内部的气压，油箱腔体中的气体进入压力平衡装置的出气管内，气体先通过过滤棉，过滤棉会吸附气体中的大部分油雾，过滤后的气体再通过滤芯，滤芯具有良好的过滤性能，将剩余的油雾从气体中分离出来，油雾被隔离在滤芯的内部，经过二次过滤的气体通过进气管进入壳体的吸气腔内，从而使得后盖板的油箱腔体和壳体的吸气腔之间的压力达到平衡状态。
9、本专利技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：1、采用过滤棉和滤芯，二次过滤气体中的油雾，避免油雾进入壳体的吸气腔，保证无油清洁的真空环境，保证壳体和后盖板内的压力处于平衡状态，减缓了油封的磨损，提高了油封的使用寿命。2、采用管螺纹连接，密封性好，结构简单，安装方便。3、零部件结构紧凑，减少了占用空间。4、通过压力平衡，解决真空泵油箱腔室与吸气口压力差问题，避免压力从轴密封处泄压造成泄露，避免出现接触密封两侧压差大而容易引起密封损坏的问题。
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1.一种用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，包括出气管（12），其特征在于：还包括过滤底座（1）、过滤接头（2）、过滤棉（3）、硅胶垫片（4）、不锈钢垫片（5）、滤芯（6）、管接头（8）和进气管（9），所述过滤底座（1）和过滤接头（2）固定，且在过滤底座（1）和过滤接头（2）之间形成过滤腔（15），所述过滤棉（3）、硅胶垫片（4）、不锈钢垫片（5）和滤芯（6）均安装在过滤腔（15）内，该过滤棉（3）、硅胶垫片（4）、不锈钢垫片（5）和滤芯（6）沿着从过滤接头（2）到过滤底座（1）的方向依次排列；所述出气管（12）的一端通过管接头（8）连接在干式螺杆真空泵的后盖板（13）的油箱腔体（10）上，该出气管（12）的另一端通过管接头（8）连接在过滤接头（2）上且与过滤腔（15）连通；所述进气管（9）的一端通过管接头（8）连接在干式螺杆真空泵的壳体（14）的吸气腔（11）上，该进气管（9）的另一端通过管接头（8）连接在过滤底座（1）上且与过滤腔（15）连通。
2.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在于：还包括弹簧（7），所述弹簧（7）安装在过滤腔（15）
3.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在于：所述过滤接头（2）中包含有O型圈。
4.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在于：所述过滤底座（1）和过滤接头（2）通过螺纹固定。
5.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在于：所述过滤棉（3）的数量为2～6层。
6.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在于：位于出气管（12）的一端的管接头（8）通过螺纹连接在后盖板（13）的油箱腔体（10）上，位于出气管（12）的另一端的管接头（8）通过螺纹连接在过滤接头（2）上；位于进气管（9）的一端的管接头（8）通过螺纹连接在壳体（14）的吸气腔（11）上，位于进气管（9）的另一端的管接头（8）通过螺纹连接在过滤底座（1）上。
7.一种如权利要求1～6任一项所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置的运行方法，其特征在于：干式螺杆真空泵在运行时，所述压力平衡装置连通壳体（14）的吸气腔（11）和后盖板（13）的油箱腔体（10），油箱腔体（10）内部的气压高于吸气腔（11）内部的气压，油箱腔体（10）中的气体进入压力平衡装置的出气管（12）内，气体先通过过滤棉（3），过滤棉（3）会吸附气体中的大部分油雾，过滤后的气体再通过滤芯（6），滤芯（6）具有良好的过滤性能，将剩余的油雾从气体中分离出来，油雾被隔离在滤芯（6）的内部，经过二次过滤的气体通过进气管（9）进入壳体（14）的吸气腔（11）内，从而使得后盖板（13）的油箱腔体（10）和壳体（14）的吸气腔（11）之间的压力达到平衡状态。
...【技术特征摘要】
1.一种用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，包括出气管（12），其特征在于：还包括过滤底座（1）、过滤接头（2）、过滤棉（3）、硅胶垫片（4）、不锈钢垫片（5）、滤芯（6）、管接头（8）和进气管（9），所述过滤底座（1）和过滤接头（2）固定，且在过滤底座（1）和过滤接头（2）之间形成过滤腔（15），所述过滤棉（3）、硅胶垫片（4）、不锈钢垫片（5）和滤芯（6）均安装在过滤腔（15）内，该过滤棉（3）、硅胶垫片（4）、不锈钢垫片（5）和滤芯（6）沿着从过滤接头（2）到过滤底座（1）的方向依次排列；所述出气管（12）的一端通过管接头（8）连接在干式螺杆真空泵的后盖板（13）的油箱腔体（10）上，该出气管（12）的另一端通过管接头（8）连接在过滤接头（2）上且与过滤腔（15）连通；所述进气管（9）的一端通过管接头（8）连接在干式螺杆真空泵的壳体（14）的吸气腔（11）上，该进气管（9）的另一端通过管接头（8）连接在过滤底座（1）上且与过滤腔（15）连通。
2.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在于：还包括弹簧（7），所述弹簧（7）安装在过滤腔（15）内，该弹簧（7）位于滤芯（6）和过滤底座（1）之间。
3.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在于：所述过滤接头（2）中包含有o型圈。
4.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的压力平衡装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：张陶桃，韩信康，杜慧芳，
申请(专利权)人：杭州久铮技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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