半导体制造过程中质量计量装置制造方法及图纸

半导体制造过程中质量计量装置，属于半导体生产技术领域，为了解决现有的电子皮带秤无法处理非标准的半导体件，依靠人工站在生产线一侧进行手动处理，处理效率较差的问题；本发明专利技术通过在皮带秤本体两侧直轨顶端开设安装槽活动安装标记分类组件，利用电动伸缩杆带动标记分类组件移动，质量计量设备对半导体块进行质量计量后，标记分类组件根据检测结果选择性对半导体块进行标记处理，并将半导体块移动至输送带上与接料斜槽上分料通道的对应处，借助输送带移动将半导体块投放至相应的分料通道内，对半导体块自动进行分类处理；本发明专利技术实现了半导体块质量检测时的自动标记分类处理，便捷实用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产，具体而言，为半导体制造过程中质量计量装置。

技术介绍

1、生活中所有的物体按照导电性大致可分为三类：导体、半导体、绝缘体。半导体是通常由硅组成的材料产品，其导电性比玻璃之类的绝缘体高，但比铜或铝之类的纯导体导电性低。可以通过引入杂质(称为掺杂)来改变其导电性和其他性能，以满足其所驻留的电子组件的特定需求。半导体也被称为半导体或芯片，它可以在数千种产品中找到，例如计算机，智能手机，设备，游戏硬件和医疗设备。

2、半导体在进行生产制造时需要对其质量进行控制，防止其质量不符合设置标准而影响使用，半导体进行大量生产时一般都是使用电子皮带秤连续的对其进行质量计量。然而，现有的电子皮带秤多是只能检测半导体生产的质量情况，不能有效的对生产质量误差较大的半导体块进行相应处理，主要依靠工作人员站在生产线一侧进行同步的手动处理，对于非标准的半导体件的处理效率较差。

3、因此，我们推出半导体制造过程中质量计量装置。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供半导体制造过程中质量计量本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.半导体制造过程中质量计量装置，包括支撑座(1)和固定连接于支撑座(1)顶部的皮带秤本体(2)，皮带秤本体(2)一侧的外壁上依次设置有记录显示器(3)和智能控制器(4)，皮带秤本体(2)顶端摆放输送半导体块(5)，其特征在于：皮带秤本体(2)两侧直轨顶端开设有安装滑槽(6)，安装滑槽(6)内活动卡合标记分类组件(7)的底端，标记分类组件(7)横跨悬置于皮带秤本体(2)的顶部，且标记分类组件(7)一侧的皮带秤本体(2)直轨顶部固定连接有电动伸缩杆(8)，电动伸缩杆(8)的末端与标记分类组件(7)侧壁固定相连，皮带秤本体(2)末端的直轨侧壁间设置有接料斜槽(9)，接料斜槽(9)的斜底板上均...

【技术特征摘要】

1.半导体制造过程中质量计量装置，包括支撑座(1)和固定连接于支撑座(1)顶部的皮带秤本体(2)，皮带秤本体(2)一侧的外壁上依次设置有记录显示器(3)和智能控制器(4)，皮带秤本体(2)顶端摆放输送半导体块(5)，其特征在于：皮带秤本体(2)两侧直轨顶端开设有安装滑槽(6)，安装滑槽(6)内活动卡合标记分类组件(7)的底端，标记分类组件(7)横跨悬置于皮带秤本体(2)的顶部，且标记分类组件(7)一侧的皮带秤本体(2)直轨顶部固定连接有电动伸缩杆(8)，电动伸缩杆(8)的末端与标记分类组件(7)侧壁固定相连，皮带秤本体(2)末端的直轨侧壁间设置有接料斜槽(9)，接料斜槽(9)的斜底板上均匀间隔固定连接有分隔板(10)，相邻的分隔板(10)和接料斜槽(9)间形成若干分料通道，分料通道用于区分输送不同质量的半导体块(5)；

2.如权利要求1所述的半导体制造过程中质量计量装置，其特征在于：分类件(7213)包括活动卡合于l型支座(71)顶板底部限位滑槽(711)内的移动板(72131)，移动板(72131)靠近l型支座(71)侧壁的一端外壁上固定连接有缓冲弹簧(72132)，缓冲弹簧(72132)末端与l型支座(71)侧壁固定相连，且移动板(72131)远离l型支座(71)侧壁一端的外壁上固定连接有楔形块(72133)，楔形块(72133)下端的移动板(72131)外壁上固定连接有升降式l型推杆(72134)，缓冲弹簧(72132)保持正常舒张状态时，拨动板(7212)的末端倾斜搭靠在楔形块(72133)斜面的倾斜上方端头处。

3.如权利要求2所述的半导体制造过程中质量计量装置，其特征在于：升降式l型推杆(72134)固定连接于移动板(72131)侧壁上靠近底部处，且安装板(723)两侧的升降式l型推杆(72134)反向设置，升降式l型推杆(72134)贴合悬置于皮带秤本体(2)的顶部，驱动杆(728)的下端为球型结构，斜面块(729)关于驱动杆(728)对称设置。

4.如权利要求3所述的半导体制造过程中质量计量装置，其特征在于：l型支座(71)远离接料斜槽(9)一端的侧壁上固定连接有固定曲杆(73)，固定曲杆(73)的末端固定连接于引导板(74)的端头处侧壁上，引导板(74)的末端活动连接有偏转板(75)，且引导板(74)靠近偏转板(75)一端的侧壁上固定连接有液压活塞杆(76)，液压活塞杆(76)的末端活动连接于偏转板(75)的侧壁上，引导板(74)和偏转板(75)通过固定曲杆(73)贴合悬置于皮带秤本体(2)的顶部，相邻的引导板(74)间形成引导通道引导半导体块(5)。

5.如权利要求1所述的半导体制造过程中质量计量装置，其特征在于：皮带秤本体(2)包括固定连接于支撑座(1)底板上端的安装直轨(21)，安装直轨(21)的侧壁间均匀活动设置有输送辊(22)，输送辊(22)的外壁上包裹套接有输送带(23)，输送带(23)中部处的安装直轨(21)侧壁间固定连接有定位板(11)，定位板(11)上端两侧固定连接有液压升降杆(12)，液压升降杆(12)的顶端设置有质量计量设备(13)，质量计量设备(13)侧壁上周向均匀设置有支撑板(14)，质量计量设备(13)通过支撑板(14)固定连接于液压升降杆(12)顶部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙正，
申请(专利权)人：孙正，
类型：发明
国别省市：