下载半导体制造过程中质量计量装置的技术资料

文档序号:40960059

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半导体制造过程中质量计量装置,属于半导体生产技术领域,为了解决现有的电子皮带秤无法处理非标准的半导体件,依靠人工站在生产线一侧进行手动处理,处理效率较差的问题;本发明通过在皮带秤本体两侧直轨顶端开设安装槽活动安装标记分类组件,利用电动伸缩杆...
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