一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，包括如下结构：基座，所述基座的顶部固设有导轨；机箱；关节电机，所述关节电机的输出端固设有轴杆，该轴杆的外侧固设有连杆，所述连杆的底部固设有夹套，该夹套的内侧活动连接有夹板，基座与导轨配合，为安装板提供安装支撑，调节电机带动安装板在导轨上转动，安装板带动机箱进行转动，关节电机带动轴杆在机箱的顶部进行偏转，将夹套偏转到机箱的外部，方便工人依次将需要研磨处理的基板胚料放置在夹套内，导向杆和调节杆配合，完成夹套内基板胚料的夹持，提高基板胚料的研磨作业效率，解决现有研磨设备对不同工件存在研磨效率低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及研磨抛光领域，具体涉及一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置。

技术介绍

1、碳化硅陶瓷基板作为一种特殊工艺板，其表面键合铜箔后获得较好的载流能力，陶瓷基板还存在硬度高、脆性大、容易产生裂纹、表面加工难度大的特点，需要对陶瓷基板进行研磨抛光处理，去除基板表面的附着物，改善陶瓷基板的平整度、降低其表面粗糙度，满足陶瓷基板的薄型化要求。

2、现有专利（公告号：cn114274040b）公开一种碳化硅研磨设备，涉及半导体加工设备
，包括：保温筒体，保温筒体内壁上设有第一加热元件，保温筒体底部开口处设有保温盖体，保温盖体与保温筒体配合连接；研磨组件，研磨组件设于保温筒体内，研磨组件包括由上向下依次同轴设置的第一研磨组件、行星盘和第二研磨组件，行星盘用于放置样品；驱动机构，驱动机构用于驱动第一研磨组件和第二研磨组件之间发生相对转动；研磨剂供应装置，研磨剂供应装置与保温筒体相连通。本申请的研磨设备可以将减薄和研磨一步完成，实现碳化硅片的快速研磨，提高了生产效率。同时，在高温下进行研磨加工则有利于降低加工过程引入的应力，进而提高了成品本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：包括如下结构：

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：所述基座（1）的中部固设有调节电机（12），所述调节电机（12）的输出端固设有安装板（13），该安装板（13）的底部与导轨（11）的顶部活动连接，所述安装板（13）的顶部与机箱（2）的底部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：所述齿轮箱（3）的内侧中部活动连接有第一平齿轮（31），所述齿轮箱（3）的左右两端内侧均活动连接有辅助平齿轮（32），所述第一平齿轮（31）的后侧...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：包括如下结构：

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：所述基座（1）的中部固设有调节电机（12），所述调节电机（12）的输出端固设有安装板（13），该安装板（13）的底部与导轨（11）的顶部活动连接，所述安装板（13）的顶部与机箱（2）的底部固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：所述齿轮箱（3）的内侧中部活动连接有第一平齿轮（31），所述齿轮箱（3）的左右两端内侧均活动连接有辅助平齿轮（32），所述第一平齿轮（31）的后侧中部固设有驱动电机（33），所述驱动电机（33）的外侧与齿轮箱（3）的后侧固定连接，所述第一平齿轮（31）的左右两侧分别与两个辅助平齿轮（32）的相对侧啮合。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：所述机箱（2）的顶部右侧与关节电机（4）的外侧固定连接，所述机箱（2）的顶部左右两侧分别与轴杆（41）的左右两端活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷基板加工用的高效研磨装置，其特征在于：所述夹板（44）的左右两侧均固设有导向杆（44a），该导向杆（44a）的外侧与夹套（43）的前端活动套接，所述夹板（44）的中部活动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王茜，许成明，胡二营，袁芳，李秋英，
申请(专利权)人：安徽东迅密封科技有限公司，
类型：发明
国别省市：