【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于rps等离子源，具体的说是一种rps等离子源的检测装置。
技术介绍
1、rps等离子源是现代社会中一种通过电场或磁场产生等离子体，且可以对等离子体进行输送使其位移至需要处理的表面区域的装置，rps等离子源和材料进行接触后，可以对其进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。
2、目前现有技术中，rps等离子源应用广泛，在进行表面处理后，热和化学损伤少、灵活、高效、精度高、使用寿命长，在半导体、新能源、医药学等领域均有涉及。
3、在使用中，现有rps等离子源的检测装置在使用过程中，往往在室内进行使用，由于室内环境地面原因限制，同时在用瓷砖进行铺设，而检测装置为自身便于移动，其底部往往会安装有万向轮，而万向轮和瓷砖之间摩擦力较小，在受到碰撞后设备会出现移动情况，进而影响检测结果，因此，针对上述问题提出一种rps等离子源的检测装置。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种rps等离子源的检测装置，包括真空组件、压控组件、真空管路、气路组件、水路组件、控制系统、移动组件；所述移动组件由国标40x40mm碳钢方管焊接而成，上表面焊接碳钢钢板，下部安装活动轮，侧部安装扶手，可人为操作自由移动，架体整体喷塑处理；架体内部集成真空组件、压控组件、气路和水路组件及电气控制系统；rps源检测口为kf50接口，同时可转接kf40；控制系统配置工控
3、优选的，所述移动组件包括检测台；所述检测台侧壁开设有一号滑槽；所述一号滑槽内部滑动连接有按压杆；所述检测台内部固接有定位杆，且按压杆端部滑动在定位杆侧壁；所述检测台内部固接有弹簧杆，且按压杆中部滑动在弹簧杆侧壁；所述按压杆底部位于定位杆和弹簧杆之间固接有定位柱；所述定位柱底部固接有吸盘；所述检测台底部位于吸盘所在开设有通槽。
4、优选的，所述定位杆和弹簧杆中部均固接有定位板；所述吸盘滑动在定位板中部；所述定位柱内部开设有三号滑槽；所述定位柱外部侧壁开设有多组二号滑槽，且二号滑槽中部和三号滑槽相连通；多组所述二号滑槽内部均通过扭簧转动连接有支撑板；所述支撑板中部转动连接有挤压板；所述挤压板滑动在三号滑槽内部；所述三号滑槽内部固接有气囊，且和挤压板侧壁相接触，且底部连通有气管；所述气管底部固接有瓣膜，且气管端部穿过吸盘顶部。
5、优选的，所述吸盘中部侧壁为硬橡胶制成，且开设有一对四号滑槽；所述四号滑槽内部滑动连接有五号滑槽；所述密封块侧壁开设有五号滑槽；所述吸盘中部位于气管下方固接有定位环；所述五号滑槽滑动在定位环两侧。
6、优选的，所述定位柱侧壁位于支撑板下方滑动连接有限位环；所述限位环底部固接有多组支撑杆；所述支撑杆底部固接有按压板；所述按压板和吸盘侧壁相接触；所述按压板内部和吸盘边角处均固接有磁力相斥的磁铁。
7、优选的，所述按压杆端部设有把手；所述把手端部设有拉环；所述拉环侧壁固接有连接绳；所述定位柱底部位于密封块所在位置转动连接有滚轮；所述连接绳端部穿过把手、按压杆、定位柱和滚轮侧壁接触，且端部固接在密封块侧壁。
8、优选的，所述按压杆端部开设有六号滑槽；所述把手端部转动连接有转轴；所述转轴滑动在六号滑槽内部。
9、优选的，所述移动组件内部配置根据图6所示，其分子泵可以满足极限真空度5.0x102pa,实际可以测试的范围误差控制在0.05～0.25torr之间；
10、0.05～0.25torr测试时是otorr点火；
11、0.99～1.1测试时是1torr点火；
12、1.99～2.1torr测试时是2torr点火；
13、2.99～3.1torr测试时是3torr点火；
14、3.99～4.1torr测试时是4torr点火；
15、设置可调节0.05～4torr点火；
16、腔室承受最大压力值是标准大气压；氩气设置一个0ml～5000ml的气体流量控制器，氮气设置一道0ml～30000ml流量的气体流量控制器；rps源检测平台设计以“npr-509l”,“mks6/8”,“452l”3种主要rps源型号结构使用为主，保留其余型号适配预留。
17、优选的，所述移动组件外形参数为l1200mmxd900mmxh1400mm，台面承重≥50kg，极限真空参数为5.0x102pa，系统漏率为1.0x106pal/s，工艺气体为ar、n2。
18、本专利技术的有益效果是：
19、1.本专利技术提供一种rps等离子源的检测装置，通过。
20、2.本专利技术提供一种rps等离子源的检测装置，通过。
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1.一种RPS等离子源的检测装置，包括真空组件、压控组件、真空管路、气路组件、水路组件、控制系统、移动组件；其特征在于：所述移动组件由国标40X40mm碳钢方管焊接而成，上表面焊接碳钢钢板，下部安装活动轮，侧部安装扶手，可人为操作自由移动，架体整体喷塑处理；架体内部集成真空组件、压控组件、气路和水路组件及电气控制系统；RPS源检测口为KF50接口，同时可转接KF40；控制系统配置工控机，显示器安装在架体上台面，氦质朴检漏仪为独立移动式本检测台架体不留安放位置；控制系统对真空度、气体流量、电源功率等参数可在安全范围任意设定；与RPS源连接的真空管路为水冷结构；设备预留1/4inchVCR接头与RPS源气路连接，设备柜门处预留208V、440V两种30KW电源接口。
2.根据权利要求1所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述移动组件包括检测台(1)；所述检测台(1)侧壁开设有一号滑槽(11)；所述一号滑槽(11)内部滑动连接有按压杆(12)；所述检测台(1)内部固接有定位杆(13)，且按压杆(12)端部滑动在定位杆(13)侧壁；所述检测台(1)内部固接
3.根据权利要求2所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述定位杆(13)和弹簧杆(16)中部均固接有定位板(25)；所述吸盘(15)滑动在定位板(25)中部；所述定位柱(14)内部开设有三号滑槽(22)；所述定位柱(14)外部侧壁开设有多组二号滑槽(2)，且二号滑槽(2)中部和三号滑槽(22)相连通；多组所述二号滑槽(2)内部均通过扭簧转动连接有支撑板(21)；所述支撑板(21)中部转动连接有挤压板(24)；所述挤压板(24)滑动在三号滑槽(22)内部；所述三号滑槽(22)内部固接有气囊，且和挤压板(24)侧壁相接触，且底部连通有气管(23)；所述气管(23)底部固接有瓣膜，且气管(23)端部穿过吸盘(15)顶部。
4.根据权利要求3所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述吸盘(15)中部侧壁为硬橡胶制成，且开设有一对四号滑槽(31)；所述四号滑槽(31)内部滑动连接有五号滑槽(33)；所述密封块(32)侧壁开设有五号滑槽(33)；所述吸盘(15)中部位于气管(23)下方固接有定位环(3)；所述五号滑槽(33)滑动在定位环(3)两侧。
5.根据权利要求4所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述定位柱(14)侧壁位于支撑板(21)下方滑动连接有限位环(41)；所述限位环(41)底部固接有多组支撑杆(4)；所述支撑杆(4)底部固接有按压板(42)；所述按压板(42)和吸盘(15)侧壁相接触；所述按压板(42)内部和吸盘(15)边角处均固接有磁力相斥的磁铁。
6.根据权利要求5所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述按压杆(12)端部设有把手(62)；所述把手(62)端部设有拉环(5)；所述拉环(5)侧壁固接有连接绳(51)；所述定位柱(14)底部位于密封块(32)所在位置转动连接有滚轮(52)；所述连接绳(51)端部穿过把手(62)、按压杆(12)、定位柱(14)和滚轮(52)侧壁接触，且端部固接在密封块(32)侧壁。
7.根据权利要求6所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述按压杆(12)端部开设有六号滑槽(6)；所述把手(62)端部转动连接有转轴(61)；所述转轴(61)滑动在六号滑槽(6)内部。
8.根据权利要求7所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述移动组件内部配置根据图6所示，其分子泵可以满足极限真空度5.0X102Pa,实际可以测试的范围误差控制在0.05～0.25torr之间；
9.根据权利要求8所述的一种RPS等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述移动组件外形参数为L1200mmXD900mmXH1400mm，台面承重≥50kg，极限真空参数为5.0X102Pa，系统漏率为1.0X106PaL/S，工艺气体为Ar、N2。
...【技术特征摘要】
1.一种rps等离子源的检测装置，包括真空组件、压控组件、真空管路、气路组件、水路组件、控制系统、移动组件；其特征在于：所述移动组件由国标40x40mm碳钢方管焊接而成，上表面焊接碳钢钢板，下部安装活动轮，侧部安装扶手，可人为操作自由移动，架体整体喷塑处理；架体内部集成真空组件、压控组件、气路和水路组件及电气控制系统；rps源检测口为kf50接口，同时可转接kf40；控制系统配置工控机，显示器安装在架体上台面，氦质朴检漏仪为独立移动式本检测台架体不留安放位置；控制系统对真空度、气体流量、电源功率等参数可在安全范围任意设定；与rps源连接的真空管路为水冷结构；设备预留1/4inchvcr接头与rps源气路连接，设备柜门处预留208v、440v两种30kw电源接口。
2.根据权利要求1所述的一种rps等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述移动组件包括检测台(1)；所述检测台(1)侧壁开设有一号滑槽(11)；所述一号滑槽(11)内部滑动连接有按压杆(12)；所述检测台(1)内部固接有定位杆(13)，且按压杆(12)端部滑动在定位杆(13)侧壁；所述检测台(1)内部固接有弹簧杆(16)，且按压杆(12)中部滑动在弹簧杆(16)侧壁；所述按压杆(12)底部位于定位杆(13)和弹簧杆(16)之间固接有定位柱(14)；所述定位柱(14)底部固接有吸盘(15)；所述检测台(1)底部位于吸盘(15)所在开设有通槽。
3.根据权利要求2所述的一种rps等离子源的检测装置，其特征在于：优选的，所述定位杆(13)和弹簧杆(16)中部均固接有定位板(25)；所述吸盘(15)滑动在定位板(25)中部；所述定位柱(14)内部开设有三号滑槽(22)；所述定位柱(14)外部侧壁开设有多组二号滑槽(2)，且二号滑槽(2)中部和三号滑槽(22)相连通；多组所述二号滑槽(2)内部均通过扭簧转动连接有支撑板(21)；所述支撑板(21)中部转动连接有挤压板(24)；所述挤压板(24)滑动在三号滑槽(22)内部；所述三号滑槽(22)内部固接有气囊，且和挤压板(24)侧壁相接触，且底部连通有气管(23)；所述气管(23)底部固接有瓣膜，且气管(2...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢茂军，徐美前，
申请(专利权)人：扬州茂德电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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