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本发明属于RPS等离子源技术领域，具体的说是一种RPS等离子源的检测装置，包括真空组件、压控组件、真空管路、气路组件、水路组件、控制系统、移动组件；所述移动组件由国标Xmm碳钢方管焊接而成，上表面焊接碳钢钢板，下部安装活动轮，侧部安装扶手，...
该专利属于扬州茂德电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州茂德电子科技有限公司授权不得商用。

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