【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体阀门，具体为一种适用于半导体行业的真空矩形阀门。
技术介绍
1、在半导体行业中，各个腔室的阀门至关重用，其密封性、稳定性、低振动性及易维修性对整个制程的效率及良品率具有很大的影响。目前的各类阀门一般采用自行设计的气缸驱动，并通过设计对应气路完成阀门的升降动作，此类阀门装配复杂、气路失效后阀门报废，且在关闭打开时密封面会有一定的摩擦，很容易产生微小颗粒，污染腔室环境。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种适用于半导体行业的真空矩形阀门。
2、具体技术方案如下：
3、一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，包括：阀盒，所述阀盒左端设置有阀板，所述阀板左端设置有传动轴，所述传动轴与阀板通过螺栓连接，所述传动轴左端插入连接有腔体连接板，所述腔体连接板左表面且位于传动轴左右两端设置有上限位座，所述腔体连接板左表面前后两端连接有外壳，所述传动轴左端设置有导向支撑座，所述导向支撑座左端设置有分力轴，所述分力轴穿过导向支撑座与传动轴连接，所述分力轴左端设置有分力座，所述外壳内侧连接有斜齿条，所述斜齿条下端啮合连接有斜齿轮，所述斜齿轮内部插入连接有从动轴，所述分力轴、从动轴与分力座插入连接，所述从动轴外表面一周转动连接有直齿轮，所述直齿轮右端转动连接直齿条，所述直齿条与导向支撑座之间通过螺栓连接，所述导向支撑座左右两端连接有传动轴安装板，所述传动轴安装板外侧连接有深沟球轴承，所述深沟球轴承与外壳插入连接，所述分力座左端设置有气缸连接板，所
4、所述外壳与深沟球轴承连接处设置有导向侧板。
5、所述阀板与阀盒连接处设置有密封圈，所述腔体连接板与阀盒连接处设置有密封垫。
6、所述阀盒前后与右表面开设有安装槽。
7、所述传动轴右端开设有斜坡。
8、所述分力轴、从动轴与分力座连接处设置有直线轴承。
9、现有技术相比，本专利技术具有如下有益技术效果：
10、本专利技术解决了目前的各类阀门一般采用自行设计的气缸驱动，并通过设计对应气路完成阀门的升降动作，此类阀门装配复杂、气路失效后阀门报废，且在关闭打开时密封面会有一定的摩擦，很容易产生微小颗粒，污染腔室环境的问题。
11、该适用于半导体行业的真空矩形阀门，经济性较好，控制难度小，通过设计齿轮组结构，把旋转运动改变为竖直和水平运动，实现阀门的竖直上升及水平关闭，从原理上规避了关闭时产生的冲击载荷、关闭不严密和关闭过程中摩擦产生颗粒，影响设备洁净度。
12、该适用于半导体行业的真空矩形阀门，通过设计限位及自由度约束机构，实现了传动轴的稳定上升及顺滑水平移动，减少了振动及噪音影响
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1.一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，其特征在于，包括：阀盒（9），所述阀盒（9）左端设置有阀板（8），所述阀板（8）左端设置有传动轴（7），所述传动轴（7）与阀板（8）通过螺栓连接，所述传动轴（7）左端插入连接有腔体连接板（5），所述腔体连接板（5）左表面且位于传动轴（7）左右两端设置有上限位座（6），所述腔体连接板（5）左表面前后两端连接有外壳（16），所述传动轴（7）左端设置有导向支撑座（15），所述导向支撑座（15）左端设置有分力轴（17），所述分力轴（17）穿过导向支撑座（15）与传动轴（7）连接，所述分力轴（17）左端设置有分力座（21），所述外壳（16）内侧连接有斜齿条（2），所述斜齿条（2）下端啮合连接有斜齿轮（1），所述斜齿轮（1）内部插入连接有从动轴（19），所述分力轴（17）、从动轴（19）与分力座（21）插入连接，所述从动轴（19）外表面一周转动连接有直齿轮（14），所述直齿轮（14）右端转动连接直齿条（11），所述直齿条（11）与导向支撑座（15）之间通过螺栓连接，所述导向支撑座（15）左右两端连接有传动轴安装板（4），所述传动轴安装板（4）外侧连接有
2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，其特征在于：所述外壳（16）与深沟球轴承（3）连接处设置有导向侧板（10）。
3.根据权利要求1所述的一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，其特征在于：所述阀板（8）与阀盒（9）连接处设置有密封圈，所述腔体连接板（5）与阀盒（9）连接处设置有密封垫。
4.根据权利要求1所述的一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，其特征在于：所述阀盒（9）前后与右表面开设有安装槽。
5.根据权利要求1所述的一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，其特征在于：所述传动轴（7）右端开设有斜坡。
6.根据权利要求1所述的一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，其特征在于：所述分力轴（17）、从动轴（19）与分力座（21）连接处设置有直线轴承（18）。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，其特征在于，包括：阀盒（9），所述阀盒（9）左端设置有阀板（8），所述阀板（8）左端设置有传动轴（7），所述传动轴（7）与阀板（8）通过螺栓连接，所述传动轴（7）左端插入连接有腔体连接板（5），所述腔体连接板（5）左表面且位于传动轴（7）左右两端设置有上限位座（6），所述腔体连接板（5）左表面前后两端连接有外壳（16），所述传动轴（7）左端设置有导向支撑座（15），所述导向支撑座（15）左端设置有分力轴（17），所述分力轴（17）穿过导向支撑座（15）与传动轴（7）连接，所述分力轴（17）左端设置有分力座（21），所述外壳（16）内侧连接有斜齿条（2），所述斜齿条（2）下端啮合连接有斜齿轮（1），所述斜齿轮（1）内部插入连接有从动轴（19），所述分力轴（17）、从动轴（19）与分力座（21）插入连接，所述从动轴（19）外表面一周转动连接有直齿轮（14），所述直齿轮（14）右端转动连接直齿条（11），所述直齿条（11）与导向支撑座（15）之间通过螺栓连接，所述导向支撑座（15）左右两端连接有传动轴安装板（4），所述传动轴安装板（4）外侧连接有深沟球轴承（3），所述深沟球轴承（3）与外壳（...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟，李加平，姜小蛟，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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