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本发明公开了一种适用于半导体行业的真空矩形阀门，涉及半导体阀门技术领域。该适用于半导体行业的真空矩形阀门，包括：阀盒，所述阀盒左端设置有阀板，所述阀板左端设置有传动轴，所述传动轴左端连接有腔体连接板，所述腔体连接板左表面设置有上限位座，所述...
该专利属于沈阳富创精密设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳富创精密设备股份有限公司授权不得商用。

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