【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅片脱胶机，具体地说，涉及一种自动化硅片脱胶机及其脱胶方法。
技术介绍
1、硅片在制造过程中需要经过多次处理和加工，其中一步就是脱胶；脱胶的目的是去除硅片表面的胶层，使其表面干净、平整，便于后续的加工和处理；具体来说，硅片在制造过程中会涂上一层薄薄的胶层，这一层胶层主要是为了保护硅片表面免受污染和损伤；然而，这层胶层在后续的加工和处理中会成为阻碍，因此需要将其去除；
2、脱胶的方法有很多种，常见的有化学脱胶、热脱胶和机械脱胶等。化学脱胶是通过将硅片浸泡在特定的溶剂中，使胶层溶解或软化，然后用水或其他方法将其冲洗掉。热脱胶是通过加热硅片，使胶层熔化或变脆，然后用机械或化学方法将其去除。机械脱胶是通过机械力的作用，如刮、刷、抛等，将胶层从硅片表面剥离；
3、但在硅片脱胶过程中无法对硅片进行自动的快速高效的脱胶,容易造成硅片脱胶不彻底,从而影响整体后续的工作,降低了整体脱胶效果，且现有的硅片生产脱胶不能连续得的进行,降低了整体脱胶的速度,从而降低了整体的脱胶速度，为此我们提出一种能够自动化对硅片进行脱胶的
【技术保护点】
1.一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，所述连接杆(21)上固定连接有环形导轨(22)，所述安装框(3)两侧对称固定连接有稳定轴(32)，所述稳定轴(32)一端滑动在环形导轨(22)中，用以对所述安装框(3)提供稳定。
3.根据权利要求1所述的一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，所述安装框(3)上对称设置有连接臂(38)，所述连接臂(38)中开设有第三气槽(381)，所述连接臂(38)上开设有多个与第三气槽(381)相连通的喷孔(382)，所述喷孔(382)用以当安装框(3)位于加热...
【技术特征摘要】
1.一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，所述连接杆(21)上固定连接有环形导轨(22)，所述安装框(3)两侧对称固定连接有稳定轴(32)，所述稳定轴(32)一端滑动在环形导轨(22)中，用以对所述安装框(3)提供稳定。
3.根据权利要求1所述的一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，所述安装框(3)上对称设置有连接臂(38)，所述连接臂(38)中开设有第三气槽(381)，所述连接臂(38)上开设有多个与第三气槽(381)相连通的喷孔(382)，所述喷孔(382)用以当安装框(3)位于加热箱(1)中时，所述喷孔(382)开口端朝向安装框(3)底部，并喷射出除胶介质。
4.根据权利要求3所述的一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，所述连接杆(21)中开设有第一气槽(211)，所述固定轴(31)中开设有第二气槽(311)，所述固定轴(31)与连接臂(38)之间固定连接有软管(313)，所述软管(313)一端与第二气槽(311)相连通，所述软管(313)另一端与连接臂(38)内的第三气槽(381)相连通，所述固定轴(31)中开设有t型连接孔(312)，所述第二气槽(311)与t型连接孔(312)相连通，所述t型连接孔(312)与第一气槽(211)一端相对应，用以在所述安装框(3)位于加热箱(1)中时，所述第一气槽(211)中的气体通过t型连接孔(312)进入到第二气槽(311)中，当所述安装框(3)位于加热箱(1)开口端时，所述第一气槽(211)中的气体停止进入到第二气槽(311)中。
5.根据权利要求3所述的一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的一种自动化硅片脱胶机，其特征在于，所述驱动机构包括固定连接在连接臂(38)一端上的轴体，所述轴体转动连接在安装框(3)上，所述轴体上固定连接有齿轮(37)，所述安装框(3)外侧壁上固定连接有固定板(33)，所述固定板(33)上对称固定连接有导杆(34)...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢海洋，邹文龙，解士超，王立欢，李慧超，张力峰，
申请(专利权)人：苏州晶樱光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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