下载一种自动化硅片脱胶机及其脱胶方法的技术资料

文档序号:40939556

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本发明公开了一种自动化硅片脱胶机及其脱胶方法,涉及硅片脱胶机技术领域,一种自动化硅片脱胶机,包括:加热箱,所述加热箱中设置有旋转的连接带,所述连接带呈矩形,所述连接带外壁上设置有多个安装杆;本发明通过设置循环旋转的连接带,带动多个安装框往复...
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