【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片生产领域，特别涉及一种硅片脱胶工装支架。
技术介绍
1、相关技术中，对硅片进行脱胶作业时，需要用料车将硅片送入至脱胶架，将承载有硅片的脱胶架送入脱胶装置中进行脱胶工序，待脱胶完成后将脱胶架从脱胶装置中取出，并用料车将硅片从脱胶架中取出并转运至下一道工序。
2、目前，脱胶架一般会设置四个支撑杆用于支撑硅片，脱胶架的端部设置异形孔用于固定支撑杆，支撑杆的端部设置螺母进行限位，并且支撑杆可以进行位置调节以适应不同规格的硅片，同时脱胶架端部上端会设置用于吊钩挂接的吊口，便于通过吊装装置吊至脱胶槽中进行脱胶作业。
3、但是，现有技术中的吊口与吊装装置一般为刚性接触，因此频繁的吊取作业容易对吊装装置以及脱胶架造成损伤，吊取时还容易产生振动不稳，影响使用寿命，此外，现有的支撑杆取下时需要松解支撑杆端部的螺母才能取下，更换不够便捷。
4、因此，提出一种硅片脱胶工装支架来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种硅片脱胶工装支架，...
【技术保护点】
1.一种硅片脱胶工装支架，包括两个平行设置的端板体(1)、设置于两个端板体(1)之间四角的支撑梁(2)、对称设置于两个端板体(1)侧面的异形孔(6)、设置于两个端板体(1)之间并由异形孔(6)支撑的支撑杆(3)、对称设置于端板体(1)上端端部的挂载板(4)以及设置于挂载板(4)上的吊取口(5)；
2.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶工装支架，其特征在于：所述配合柱(10)的上端与吊取口(5)内侧的顶部固定连接，缓冲块(8)底部受压时配合配合柱(10)在第一盲孔(13)的内侧压缩缓冲弹簧(12)；每个缓冲块(8)顶部的第一盲孔(13)的数量至少为两个。>
3.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种硅片脱胶工装支架，包括两个平行设置的端板体(1)、设置于两个端板体(1)之间四角的支撑梁(2)、对称设置于两个端板体(1)侧面的异形孔(6)、设置于两个端板体(1)之间并由异形孔(6)支撑的支撑杆(3)、对称设置于端板体(1)上端端部的挂载板(4)以及设置于挂载板(4)上的吊取口(5)；
2.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶工装支架，其特征在于：所述配合柱(10)的上端与吊取口(5)内侧的顶部固定连接，缓冲块(8)底部受压时配合配合柱(10)在第一盲孔(13)的内侧压缩缓冲弹簧(12)；每个缓冲块(8)顶部的第一盲孔(13)的数量至少为两个。
3.根据权利要求2所述的一种硅片脱胶工装支架，其特征在于：所述缓冲块(8)的底部设置有柔性橡胶块(11)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片脱胶工装支架，其特征在于：所述缓冲块(8)的两侧对称设置有凹槽(9)，缓冲块(8)通过凹槽(9)与吊取口(5)的两侧滑动配合。
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢海洋，邹文龙，解士超，王立欢，李慧超，张力峰，
申请(专利权)人：苏州晶樱光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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