【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种适用于风干炉的进料系统。
技术介绍
1、风干炉(烘干炉)主要为陶瓷载体(汽、柴油催化剂)涂覆后烘干，与温度及动作控制系统配套使用。
2、陶瓷载体在使用风干炉(烘干炉)烘干前，首先需要人工或通过机器人将陶瓷载体转移至上料台100上，而后输送至风干炉内的输入网带组件200上；
3、通过人工转移的方式耗时耗力且摆放位置不固定，容易增加后续卸料难度；
4、采用机器人通过逐个夹取陶瓷载体的方式进行转移效率相对较为低下，但可以轻易灵活的调整陶瓷载体之间的间距，使得陶瓷载体的摆放能够适用风干炉内的空气流动轨迹，并能够将载体的间距调整为较为有利于进行烘干的状态(错位摆放、不等间距放置等)，进而获得更好的风干效果；一次夹取多个载体对其进行转移的方式转移效率较高但灵活性相对较差，难以便捷的调整载体之间的间距。
5、因此，需要一种能够便捷灵活的调整将要转移至输入网带组件200上的陶瓷载体之间的间距的适用于风干炉的进料系统。
技术实现思路
1、本申请实施例通过提供一种适用于风干炉的进料系统，解决了现有技术中采用机器人通过逐个夹取陶瓷载体的方式进行陶瓷载体的转移效率相对较为低下的技术问题，和批量放置在上料台上的陶瓷载体之间的间距无法调整的技术问题；实现了适用于风干炉的进料系统能够便捷灵活的批量调整将要转移至输入网带组件上的陶瓷载体之间的间距的技术效果。
2、本申请实施例提供了一种适用于风干炉的进料系统，包括
3、所述上料台为网带输送机结构；陶瓷载体成排的转移至上料台上；
4、所述第一转动板组件和第二转动板组件的主体均为横向设置且纵截面为l形的板体，转动连接在承载框体上；
5、所述第一转动板组件包括承接板体和矩形框体；
6、所述承接板体为硬质板体；矩形框体为矩形的硬质框体，固定在承接板体上，设有一排内置磁铁的柱形转动柱；
7、所述矩形框体上还设有软铁带体和带体卷收组件；软铁带体为铁质带体，被柱形转动柱吸附着；软铁带体一端固定在矩形框体的端部，另一端定位在位于矩形框体一端且为内置扭簧的卷筒结构的带体卷收组件上；
8、所述第二转动板组件包括承载板和传递板；承载板上定位有凸出承载板的杆形转动体；
9、所述顶升柱组件为多个相对地面进行滑动的伸缩杆，用于从柱形转动柱之间的间隙处顶升软铁带体进而调整位于软铁带体上的陶瓷载体之间的间距。
10、进一步的，所述柱形转动柱的直径小于0.8厘米，彼此之间的间距为2至4厘米，数量大于20个；所述柱形转动柱的侧面与矩形框体的回字形的面之间的间距小于3毫米。
11、进一步的，所述软铁带体的远离矩形框体的面上固定有一排防滚条，防滚条为长条状的橡胶条，数量大于50个，长度方向与软铁带体的宽度方向相同，用于限制陶瓷载体在软铁带体上的滚动。
12、进一步的，所述承载板上还固定有一排纵置条，纵置条为长条状的橡胶条，数量大于50个，长度方向与软铁带体的宽度方向相同，厚度小于杆形转动体凸出承载板的量。
13、进一步的，所述承接板体的宽度为陶瓷载体直径的0.6至0.7倍，矩形框体的宽度为陶瓷载体高度的0.65至0.75倍，承载板的宽度为陶瓷载体高度的0.65至0.75倍；杆形转动体的宽度为陶瓷载体直径的0.6至0.7倍。
14、进一步的，所述顶升柱组件包括底板、滑轨和滑动升降柱；
15、所述底板固定在地面上；所述滑轨为直导轨，固定在底板上，长度方向与矩形框体的长度方向相同，位于第一转动板组件的正下方；
16、所述滑动升降柱的数量为6个以上，在控制单元和动力组件的协同作用下沿滑轨进行滑动；
17、所述滑动升降柱为电动伸缩杆，在控制单元的控制下进行伸缩。
18、优选的，所述顶升柱组件包括底板、滑轨和滑动升降柱；
19、所述滑轨固定在底板上；
20、所述顶升柱组件还包括第二导轨和动力伸缩柱；
21、所述第二导轨固定在底板上，长度方向与矩形框体的长度方向相同，位于第一转动板组件的正下方；
22、所述动力伸缩柱数量为一个，沿第二导轨进行滑动；
23、所述动力伸缩柱为电动伸缩杆；
24、所述滑动升降柱包括基杆和滑动杆；
25、所述基杆滑动定位在滑轨上，滑动杆滑动定位在基杆上；
26、所述滑动杆上等间距的设有穿入孔；
27、所述滑动杆的侧壁上固定有承力杆；
28、所述基杆靠近顶部的侧壁上固定有插入固定组件；
29、插入固定组件用于通过磁力和弹力适时的插入滑动杆上的穿入孔进而将滑动杆固定；
30、所述动力伸缩柱与插入固定组件等高的位置设有吸附体，吸附体为电磁铁，通电状态下吸附滑动锥使其克服压簧弹力；
31、所述动力伸缩柱的侧壁上还定位有拨动转动杆，拨动转动杆为匚字形硬质杆体，转动连接在动力伸缩柱的侧壁上。
32、优选的，在单次风干后控制成排的陶瓷载体退回第一转动板组件，而后通过控制顶升柱组件运行使得软铁带体弯曲形变进而使得位于软铁带体上的陶瓷载体滚动90至180度，最后重新送入风干炉进行风干，保障风干均匀性。
33、优选的，所述承载框体的底部固定有顶升伸缩体，侧壁上固定有支撑框体，支撑框体靠近顶部的位置固定有输送带组件；
34、所述承载框体与承载框架之间不固定；
35、所述顶升伸缩体为纵向设置的电动伸缩杆，底部固定在地面上，顶部固定在支撑框体的底部；
36、所述支撑框体为板形、杆形或框架结构，固定在承载框体的侧壁上或顶部，高度大于30厘米；
37、所述输送带组件为网带输送机结构，纵截面呈上大下小的梯形，输送带组件下移时将网带输送体与输入网带组件连通。
38、优选的，所述输送带组件包括侧承载体、转动支撑柱和管形带体；
39、所述侧承载体为水平设置的硬质杆体，固定在支撑框体上；
40、所述转动支撑柱为多个横向设置的圆柱形杆体，在控制单元和动力组件的协同作用下运行；
41、所述转动支撑柱横向设置，长度方向与网带输送体的轴向相同；
42、所述管形带体为管形网体，套设且紧贴在每个圆柱形杆体。
43、本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
44、通过对现有技术中的风干炉进料系统的结构进行优化改进，利用多个l形的板体的组合相互配合实现陶瓷载体的转移与翻转，在其中一个l形的板体上设置带形的薄铁板，通过挤压带形的薄铁板使其形变促使其上陶瓷载体进行移动；有效解决了现有技术中采用机器人通过逐个夹取陶瓷载体的方式进行陶瓷载体的转移效率相对较为低下的技术问题，和批量放置在上料台上的陶瓷载体本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种适用于风干炉的进料系统，其特征在于：包括上料台(100)、承载框体(400)、第一转动板组件(500)、第二转动板组件(600)和顶升柱组件(700)；
2.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述柱形转动柱(521)的直径小于0.8厘米，彼此之间的间距为2至4厘米，数量大于20个；所述柱形转动柱(521)的侧面与矩形框体(520)的回字形的面之间的间距小于3毫米。
3.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述软铁带体(522)的远离矩形框体(520)的面上固定有一排防滚条(524)，防滚条(524)为长条状的橡胶条，数量大于50个，长度方向与软铁带体(522)的宽度方向相同，用于限制陶瓷载体在软铁带体(522)上的滚动。
4.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述承载板(610)上还固定有一排纵置条(612)，纵置条(612)为长条状的橡胶条，数量大于50个，长度方向与软铁带体(522)的宽度方向相同，厚度小于杆形转动体(611)凸出承载板(610)的量。
5.如权利
6.如权利要求1至5任一所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述顶升柱组件(700)包括底板(710)、滑轨(720)和滑动升降柱(730)；
7.如权利要求1至5任一所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述顶升柱组件(700)包括底板(710)、滑轨(720)和滑动升降柱(730)；
8.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：在单次风干后控制成排的陶瓷载体退回第一转动板组件(500)，而后通过控制顶升柱组件(700)运行使得软铁带体(522)弯曲形变进而使得位于软铁带体(522)上的陶瓷载体滚动90至180度，最后重新送入风干炉进行风干，保障风干均匀性。
9.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述承载框体(400)的底部固定有顶升伸缩体(410)，侧壁上固定有支撑框体(430)，支撑框体(430)靠近顶部的位置固定有输送带组件(420)；
10.如权利要求9所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述输送带组件(420)包括侧承载体(421)、转动支撑柱(422)和管形带体(423)；
...【技术特征摘要】
1.一种适用于风干炉的进料系统，其特征在于：包括上料台(100)、承载框体(400)、第一转动板组件(500)、第二转动板组件(600)和顶升柱组件(700)；
2.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述柱形转动柱(521)的直径小于0.8厘米，彼此之间的间距为2至4厘米，数量大于20个；所述柱形转动柱(521)的侧面与矩形框体(520)的回字形的面之间的间距小于3毫米。
3.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述软铁带体(522)的远离矩形框体(520)的面上固定有一排防滚条(524)，防滚条(524)为长条状的橡胶条，数量大于50个，长度方向与软铁带体(522)的宽度方向相同，用于限制陶瓷载体在软铁带体(522)上的滚动。
4.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述承载板(610)上还固定有一排纵置条(612)，纵置条(612)为长条状的橡胶条，数量大于50个，长度方向与软铁带体(522)的宽度方向相同，厚度小于杆形转动体(611)凸出承载板(610)的量。
5.如权利要求1所述的适用于风干炉的进料系统，其特征在于：所述承接板体(510)的宽度为陶瓷载体直径的0.6至0.7倍，矩形框体(520)的宽度为陶瓷载体高度的0.6...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶玮，许志丹，
申请(专利权)人：南京年达智能装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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