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本申请公开了一种适用于风干炉的进料系统，涉及半导体加工设备技术领域，包括上料台、承载框体、第一转动板组件、第二转动板组件和顶升柱组件；第一转动板组件和第二转动板组件的主体均为横向设置且纵截面为L形的板体，转动连接在承载框体上；第一转动板组件...
该专利属于南京年达智能装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京年达智能装备科技有限公司授权不得商用。

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