一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置制造方法及图纸

本技术公开了一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，应用在温控设备技术领域，其技术方案要点是：所述储水箱内固定设有隔板用于将所述储水箱分为高温区以及低温区，所述储水箱在所述高温区以及所述低温区分别固定设有第一联通阀以及第二联通阀，所述第一联通阀上设有连接冷水机组的高温进口，所述第二联通阀上设有用于向冷水机组提供降温后流体的低温出口，所述第一联通阀与所述第二联通阀之间设有联通管路，所述联通管路上设有控制阀；具有的技术效果是：结构简单，能够在功率保持不变的同时实现温度的快速切换，温度响应效率高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及温控设备，特别涉及一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置。

技术介绍

1、现有的冷水机温控设备一般设有制冷和制热两个模块，两个模块根据需要并相互配合来实现温度的控制，但任何温度的变化需要一个时间的过程，特别是制冷的过程，由于其特殊性，所需时间一般比制热的时间长，但先进的半导体制程工艺对温度的快速响应也提出了更高的要求，目前现有的冷水机温控设备通常是通过增加制冷功率来实现减小温度的变化时间，但这样会导致能耗增加，并且对部件的控制要求也随之加大，具有改进的必要；

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其优点是结构简单，能够在功率保持不变的同时实现温度的快速切换，温度响应效率高。

2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，包括储水箱；所述储水箱内固定设有隔板用于将所述储水箱分为高温区以及低温区，所述储水箱在所述高温区以及所述低温区分别固定设有第一联通阀以及第二联通阀，所述第一联通阀上设有连接冷水机组，用于收集冷水机组富余的流体的高温进口，所述第二联通阀上设有用于向冷水机组提供降温后流体的低温出口，所述第一联通阀与所述第二联通阀之间设有用于将所述高温区内的流体导入所述低温区从而保证流体供应充足的联通管路，所述联通管路上设有控制阀。

3、本技术进一步设置为：所述隔板的高度不高于所述储水箱的高度从而使得实现所述高温区与所述低温区之间流体的热传递。

4、本技术进一步设置为：所述储水箱在所述高温区以及所述低温区均设有用于测量流体液位的液位开关，同时在所述储水箱的两侧设有用于供目视观察所述高温区以及所述低温区内流体液位的液位计。

5、本技术进一步设置为：所述储水箱的顶部位置固定设有用于避免流体液位过高的溢流管道。

6、本技术进一步设置为：所述第一联通阀高于所述第二联通阀设置。

7、本技术进一步设置为：所述储水箱外壳使用金属材质制成，所述隔板使用隔热板材质制成。

8、本技术进一步设置为：所述储水箱上固定设有若干用于便于安装的安装孔。

9、综上所述，本技术具有以下有益效果：

10、1.在高温区设置高温进口并且在低温区设置低温出口，由于在冷水机组运行过程中不可避免的会有热流体以及冷流体富余，通过将冷水机组富余的流体通过高温进口导入高温区，并通过联通管路实现将高温区的流体导入低温区以保证低温区的流体充足，当需要进行制冷时，储存在低温区内的流体通过低温出口排出并与需要制冷的流体进行混合从而初步降低流体温度，经过初步降温后的流体在进入冷水机组的制冷模块内进行降温，从而减少了制冷的时间，并在在保证制冷功率不变的基础上实现快速降温以实现温度的快速切换，提升了制冷效率以及温度的响应效率，结构简单，易用于现有冷水机组的升级改造；

11、2.设置隔板的高度不高于储水箱的高度同时设置隔板使用隔热板材质制成，从而使得高温区与低温区之间的流体能够进行空气热传递，从而在降低高温区内流体温度的同时也不会导致低温区内流体温度下降过慢影响低温区内流体温度，同时设置储水箱使用金属材质制成从而提升储水箱内流体与外界的温度交换速率，提升温度下降速度；

12、3.设置第一联通阀高于第二联通阀，从而使得高温区内的流体能够顺利进入低温区内，避免在联通管道内流动时造成动能的损失。

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【技术保护点】

1.一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，包括储水箱(1)；其特征在于，所述储水箱(1)内固定设有隔板(11)用于将所述储水箱(1)分为高温区(12)以及低温区(13)，所述储水箱(1)在所述高温区(12)以及所述低温区(13)分别固定设有第一联通阀(14)以及第二联通阀(15)，所述第一联通阀(14)上设有连接冷水机组，用于收集冷水机组富余的流体的高温进口(16)，所述第二联通阀(15)上设有用于向冷水机组提供降温后流体的低温出口(17)，所述第一联通阀(14)与所述第二联通阀(15)之间设有用于将所述高温区(12)内的流体导入所述低温区(13)从而保证流体供应充足的联通管路(18)，所述联通管路(18)上设有控制阀(19)。

2.根据权利要求1所述的一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其特征在于，所述隔板(11)的高度不高于所述储水箱(1)的高度从而使得实现所述高温区(12)与所述低温区(13)之间流体的热传递。

3.根据权利要求1所述的一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其特征在于，所述储水箱(1)在所述高温区(12)以及所述低温区(13)均设有用于测量流体液位的液位开关(2)，同时在所述储水箱(1)的两侧设有用于供目视观察所述高温区(12)以及所述低温区(13)内流体液位的液位计(3)。

4.根据权利要求3所述的一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其特征在于，所述储水箱(1)的顶部位置固定设有用于避免流体液位过高的溢流管道(4)。

5.根据权利要求1所述的一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其特征在于，所述第一联通阀(14)高于所述第二联通阀(15)设置。

6.根据权利要求1所述的一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其特征在于，所述储水箱(1)外壳使用金属材质制成，所述隔板(11)使用隔热板材质制成。

7.根据权利要求1所述的一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其特征在于，所述储水箱(1)上固定设有若干用于便于安装的安装孔(5)。

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【技术特征摘要】

1.一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，包括储水箱(1)；其特征在于，所述储水箱(1)内固定设有隔板(11)用于将所述储水箱(1)分为高温区(12)以及低温区(13)，所述储水箱(1)在所述高温区(12)以及所述低温区(13)分别固定设有第一联通阀(14)以及第二联通阀(15)，所述第一联通阀(14)上设有连接冷水机组，用于收集冷水机组富余的流体的高温进口(16)，所述第二联通阀(15)上设有用于向冷水机组提供降温后流体的低温出口(17)，所述第一联通阀(14)与所述第二联通阀(15)之间设有用于将所述高温区(12)内的流体导入所述低温区(13)从而保证流体供应充足的联通管路(18)，所述联通管路(18)上设有控制阀(19)。

2.根据权利要求1所述的一种能够满足半导体工艺需求的温度快速切换装置，其特征在于，所述隔板(11)的高度不高于所述储水箱(1)的高度从而使得实现所述高温区(12)与所述低温区(13)之间流体的热传递。

3.根据权利要求1所述的一种能够...

【专利技术属性】
技术研发人员：张平云，
申请(专利权)人：无锡迈泰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：