单晶硅片烘干装置制造方法及图纸

本申请涉及一种单晶硅片烘干装置。单晶硅片烘干装置包括槽体、槽门以及线性引导机构，槽体一侧设有敞口；槽门设于槽体具有敞口的一侧；线性引导机构包括至少一个线性引导单元，线性引导单元包括设置于槽体具有敞口的一侧的隆起部以及与槽门连接的支承元件；隆起部构造为沿第一方向纵长的延伸且具有弧形表面，支承元件构造有与隆起部适配的引导通道；引导通道的壁面与隆起部的弧形表面接触形成移动副，以引导槽门能够沿第一方向线性地运动。通过在槽体外侧设置线性引导机构，支承元件与隆起部配合控制槽门的移动方向，以辅助槽门的移动，有效减少槽体损伤，保证密封性能，并且避免轴承转动卡顿的情况，从而减少槽门卡顿，降低故障率，提高产能。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光伏制造，特别是涉及一种单晶硅片烘干装置。

技术介绍

1、单晶硅片用于制造半导体器件、太阳能电池等，是将单晶硅棒切成硅片，并经过抛磨、清洗、烘干等工序，制成待加工的原料硅片。硅片通过在清洗机内清洗后送入清洗机的烘干槽内进行烘干。其中，烘干槽需要具有良好的密封性，以保证烘干效果。

2、相关技术中，烘干槽的槽门是通过轴承与烘干槽的槽体滑动连接，但是，长时间使用后存在槽体损伤、密封性下降的问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对烘干槽的槽门长时间使用后存在槽体损伤、密封性下降的问题，提供一种单晶硅片烘干装置。

2、本申请提供的一种单晶硅片烘干装置，包括：

3、槽体，一侧设有敞口；

4、槽门，设于所述槽体具有所述敞口的一侧；以及

5、线性引导机构，包括至少一个线性引导单元，所述线性引导单元包括设置于所述槽体具有所述敞口的一侧的隆起部，以及与所述槽门连接的支承元件；

6、所述隆起部构造为沿第一方向纵长的延伸且具有弧形表面，所述支承元件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述线性引导机构包括设置于所述敞口沿第二方向相对两侧的两个线性引导单元；

3.根据权利要求1所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述隆起部在与所述第一方向垂直的平面上的横截面具有圆弧状的外轮廓线。

4.根据权利要求3所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述隆起部在与所述第一方向垂直的平面上的横截面的外轮廓线为半圆。

5.根据权利要求3所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述隆起部的弧形表面的边缘与所述槽体具有敞口的一侧的表面平滑过渡。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述线性引导机构包括设置于所述敞口沿第二方向相对两侧的两个线性引导单元；

3.根据权利要求1所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述隆起部在与所述第一方向垂直的平面上的横截面具有圆弧状的外轮廓线。

4.根据权利要求3所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述隆起部在与所述第一方向垂直的平面上的横截面的外轮廓线为半圆。

5.根据权利要求3所述的单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述隆起部的弧形表面的边缘与所述槽体具有敞口的一侧的表面平滑过渡。

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【专利技术属性】
技术研发人员：杨剑波，程帅，詹治城，纪光宇，章兹多，
申请(专利权)人：晶科能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：