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本申请涉及一种单晶硅片烘干装置。单晶硅片烘干装置包括槽体、槽门以及线性引导机构，槽体一侧设有敞口；槽门设于槽体具有敞口的一侧；线性引导机构包括至少一个线性引导单元，线性引导单元包括设置于槽体具有敞口的一侧的隆起部以及与槽门连接的支承元件；隆...
该专利属于晶科能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶科能源股份有限公司授权不得商用。

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