【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超精密测量，特别涉及一种隔振平台的残余振动检测装置及方法。
技术介绍
1、随着星模拟器越来越多的用于天文研究，光管阵列式穹顶恒星模拟系统这种可以有效提高星模拟器测量精度和探测灵敏度的地面装置，在实验研究中的运用也越来越广泛。
2、隔振平台是穹顶恒星模拟系统的重要组成部分，如果隔振平台的尺寸过大，则对隔振平台的残余振动测量的测量精度会降低。
3、基于此，目前亟需一种隔振平台的残余振动检测装置及方法来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、为了有效保证隔振平台的残余振动检测的精度，本专利技术实施例提供了一种大尺寸隔振平台振动检测装置及方法。
2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种隔振平台的残余振动检测装置，包括：控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器，其中：
3、所述激光器、所述准直镜和两个所述光学探测器均位于隔振平台的外侧，所述分光镜和两个所述光学滤波器均位于所述隔振平...
【技术保护点】
1.一种隔振平台的残余振动检测装置，其特征在于，包括控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器，其中：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器具体是通过如下方式进行计算的：
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器在执行所述基于所述曲线，得到所述清晰光斑的坐标变化量时，具体用于执行如下操作：
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器在执行所述对所述坐标变化量进行分析，得到所述隔振平台的残余振动情况时，具体用于执行如下操作：
5...
【技术特征摘要】
1.一种隔振平台的残余振动检测装置，其特征在于，包括控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器，其中：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器具体是通过如下方式进行计算的：
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器在执行所述基于所述曲线，得到所述清晰光斑的坐标变化量时，具体用于执行如下操作：
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器在执行所述对所述坐标变化量进行分析，得到所述隔振平台的残余振动情况时，具体用于执行如下操作：
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述控制器在执行所述基于所述第一所述清晰光斑的位置沿第一光学探测器坐标系的x轴变化，得到所述隔振平台在全局坐标系的y方向的运动量时，具体用于执行如下操作：
6....
【专利技术属性】
技术研发人员：梁士通，王立，赵春晖，钟红军，余成武，钟俊，吴奋陟，陈建峰，王龙，李林，莫亚男，张东来，李凯，
申请(专利权)人：北京控制工程研究所，
类型：发明
国别省市：
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