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本发明涉及超精密测量技术领域，特别涉及一种隔振平台的残余振动检测装置及方法。该装置包括：控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器，其中：分光镜用于对经过准直镜准直处理的平行激光进行...
该专利属于北京控制工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京控制工程研究所授权不得商用。

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