【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及位移台，尤其涉及一种基于柔性铰链的抬升机构及纳米级位移台。
技术介绍
1、相关技术中，纳米尺度操作系统在高精度测量与加工领域应用越来越广泛，纳米定位平台是纳米尺度操作系统中的重要组成部分，应用于扫描探针式显微镜、微纳3d打印、光刻机等设备。
2、但是，相关技术中的纳米定位平台采用串联式设计，结构复杂、尺寸较大，并采用弹簧提供固有频率较低的位移驱动力，导致纳米定位平台难以适配体积较大或形状复杂的负载，且难以实现高速运动，降低了纳米位移台的适用范围。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于：提供一种基于柔性铰链的抬升机构及纳米级位移台，旨在解决现有技术中纳米位移台的适用范围低的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、第一方面，本专利技术提供了一种基于柔性铰链的抬升机构，包括：
4、柔性铰链体，所述柔性铰链体沿第一水平方向延伸，所述柔性铰链体上形成有沿第二水平方向贯穿其的变形槽，所述第一水平方向与所述第二...
【技术保护点】
1.一种基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，所述抬升段包括多个抬升块和多个抬升铰链，多个所述抬升块和多个所述抬升铰链沿所述第一水平方向交错连接，以在各所述抬升铰链和与其相连的两个所述抬升块之间合围形成槽口朝上的变形凹槽；所述抬升段沿所述第一水平方向的两端均为所述抬升块，所述抬升块与对应的所述变形段连接。
3.如权利要求2所述的基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，各所述变形段通过一沿所述第一水平方向延伸的变形铰链与对应的所述抬升块连接，且所述变形铰链与所述抬升块的连接处靠近所述抬升
【技术特征摘要】
1.一种基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，所述抬升段包括多个抬升块和多个抬升铰链，多个所述抬升块和多个所述抬升铰链沿所述第一水平方向交错连接，以在各所述抬升铰链和与其相连的两个所述抬升块之间合围形成槽口朝上的变形凹槽；所述抬升段沿所述第一水平方向的两端均为所述抬升块，所述抬升块与对应的所述变形段连接。
3.如权利要求2所述的基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，各所述变形段通过一沿所述第一水平方向延伸的变形铰链与对应的所述抬升块连接，且所述变形铰链与所述抬升块的连接处靠近所述抬升块的顶部设置。
4.如权利要求3所述的基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，所述支撑段、所述变形铰链、两个所述变形段、多个所述抬升块及多个所述抬升铰链合围形成所述变形槽。
5.如权利要求1至4任一项所述的基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，所述变形槽包括第一平直段、两个过渡段和两个第二平直段，所述第一平直段和所述第二平直段均沿所述第一水平方向延伸，两个所述第二平直段均设置于所述第一平直段的上方，且两个所述第二平直段分别设置于所述第一平直段的两端外侧，两个所述第二平直段分别通过两个所述过渡段与所述第一平直段的两端连接，所述过渡段自对应的所述第一平直段的端部朝对应的所述第二平直段弯折设置。
6.如权利要求1至4任一项所述的基于柔性铰链的抬升机构，其特征在于，所述抬升机构还包括安装壳，所述安装壳具有一顶部开口的安装腔，所述柔性铰链体安装于所述安装腔内；所述固定铰链沿所述第二方向的两端分别凸出于所述变形段并与所述安装壳的内壁连接。
7.一种纳米级位移台，其特征在于，包括底...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈云龙，毕海，刘世昌，夏怀亮，黄泽铨，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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