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基于柔性铰链的抬升机构及纳米级位移台制造技术
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下载基于柔性铰链的抬升机构及纳米级位移台的技术资料
文档序号:40909060
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本发明公开了一种基于柔性铰链的抬升机构及纳米级位移台,该抬升机构包括柔性铰链体、第一压电驱动件和两个固定铰链,柔性铰链体上形成有变形槽,柔性铰链体包括支撑段、抬升段和两个变形段,支撑段、抬升段及两个变形段合围形成变形槽,两个固定铰链分别插设...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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