【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及将片状介质以悬浮的状态支撑为不能移动的介质浮起支撑装置。本专利技术还涉及用于检查片状介质的外观的外观检查装置。
技术介绍
1、在薄膜等具有挠性的片状介质的输送中，使用使介质以浮起的状态移动的非接触输送装置。在专利文献1中，记载了具有使片状介质浮起的非接触吸附盘的非接触输送装置。非接触吸附盘在上端部分具备多孔质板。非接触吸附盘在多孔质板的表面同时进行由加压空气的喷出引起的介质的浮起和由空气吸引引起的介质的非接触吸附，使介质从多孔质板的表面浮起。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2021-167251号公报
5、作为具有挠性的片状介质，有oled(organic light emitting diode：有机发光二极管)基板。oled基板是层叠有薄膜晶体管、具有有机el元件的oled和薄膜密封层的基板。
6、在制造采用了oled基板的显示器等时，进行oled基板的外观检查。在外观检查中，尝试对载置在检查用台上的oled基板进行相机拍摄，对取得的图像数据实施图像处理来检测损伤等。
7、然而，oled基板是片状的并且具有挠性。因此，在将oled基板载置于检查用台的上表面时，有时在片材上产生翘曲或起伏。另外，由于oled基板为片状，因此在将oled基板载置于检查用台的上表面时，在检查用台的上表面存在尘埃的情况下，有时在oled基板上产生凹凸。在对oled基板进行拍摄而得到的图像中，如果因翘曲、起伏以及尘埃引起的凹凸而产生阴影，则无
8、在此，如果通过非接触吸附盘使片状的介质浮起，则介质不会发生翘曲或起伏。另外，如果利用非接触吸附盘使片状的介质浮起，则即使在多孔质板的上表面存在尘埃，也能够防止或抑制在介质上产生凹凸。因此，认为如果在通过非接触吸附盘使介质浮起的状态下进行拍摄，则能够根据所取得的图像数据准确地判别形成于介质表面的伤痕。但是，在通过非接触吸附盘使介质浮起的情况下，介质容易在与多孔质板平行的水平方向上移动，无法将介质固定在固定位置。因此，不容易对浮起的介质进行摄像。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本专利技术的课题在于提供一种浮起支撑装置，其将具有挠性的片状介质以浮起的状态固定在规定位置。本专利技术的另一个课题在于提供一种外观检查装置，其能够基于通过对介质进行摄像而获得的摄像数据来检测片状介质上的缺陷等。
2、为了解决上述课题，本专利技术的浮起支撑装置具有：非接触吸附盘，其将具有挠性的片状介质维持在从多孔质板浮起规定距离的状态；以及吸附固定机构，其固定在所述非接触吸附盘的不与所述多孔质板重叠的位置，所述吸附固定机构具备：吸附用部件，其具备吸附面，该吸附面具有多个吸气口；空气流路，其与多个所述吸气口连通；以及吸气机构，其与所述空气流路连接，所述吸附面与所述多孔质板平行，且位于从所述多孔质板向上方离开所述规定距离的位置，当所述吸气机构被驱动时，从所述吸气口吸引空气，所述介质的一部分被所述吸附面吸附。
3、根据本专利技术，非接触吸附盘使片状介质从多孔质板向上方浮起规定距离。因此，介质不会与多孔质板接触而在介质上产生翘曲或起伏，即使在多孔质板的上表面存在尘埃，介质也不会产生凹凸。另一方面，吸附固定机构安装在非接触吸附盘的不与多孔质板重叠的位置，在从多孔质板向上方离开规定距离的位置具备吸附面。另外，从非接触吸附盘的多孔质板浮起的介质，其一部分被吸附用部件吸附，阻止向与多孔质板平行的水平方向的移动。因此，介质以从多孔质板浮起的状态被固定。此外，由于介质从多孔质板浮起的高度与吸附用部件的吸附面的高度一致，因此在介质被吸附用部件吸附时，介质不会发生翘曲或起伏。
4、在本专利技术中，可以是：从上方观察所述多孔质板时的形状是矩形，所述吸附固定机构具备保持所述吸附用部件的保持架，所述吸附用部件是四棱柱形状的多孔质体，且沿着所述多孔质板的一个边缘与所述多孔质板平行地延伸设置，所述吸附面是所述吸附用部件的上表面，所述吸气口是所述吸附用部件的上表面的气孔，所述空气流路具备喷嘴，该喷嘴的一个开口与所述吸附用部件的与所述多孔质板相反侧的第一侧面接触，所述保持架具备：下表面紧贴部，其从所述吸附用部件的一端延伸到另一端并与所述吸附用部件的下表面紧贴；以及侧面紧贴部，其从所述吸附用部件的一端延伸到另一端并与所述吸附用部件的所述第一侧面紧贴，所述下表面紧贴部固定于所述非接触吸附盘，所述喷嘴贯通所述侧面紧贴部，所述一个开口在该侧面紧贴部中与所述第一侧面紧贴的紧贴面露出，所述吸气机构与所述喷嘴的另一个开口连接，所述另一个开口在所述侧面紧贴部的与所述第一侧面相反的一侧向外部露出，所述非接触吸附盘具备在将所述保持架固定于所述非接触吸附盘时与所述吸附用部件的朝向与所述第一侧面相反侧的第二侧面紧贴的端面，所述端面从所述吸附用部件的一端延伸到另一端，且隔着所述吸附用部件与所述紧贴面及在所述紧贴面露出的所述喷嘴的一个开口相对。这样，由于吸附用部件是多孔质体，因此作为吸气口的吸附用部件的上表面的气孔经由吸附用部件的内部的气孔及第一侧面的气孔与喷嘴连接。另外，保持架与吸附用部件的下表面及第一侧面紧贴。非接触吸附盘与在吸附用部件中位于与第一侧面相反侧的第二侧面紧贴。而且，非接触吸附盘的端面从吸附用部件的一端延伸到另一端，且隔着吸附用部件与紧贴面以及在紧贴面露出的喷嘴的一个开口相对。因此，如果驱动与喷嘴连接的吸气机构，则能够从吸附用部件的上表面的气孔吸入空气。
5、在本专利技术中，可以是：将与上下方向垂直且相互正交的两个轴方向设为x轴方向、y轴方向，将所述多孔质板和所述吸附用部件的排列方向设为x轴方向，将所述吸附用部件的延伸设置方向设为y轴方向，将在所述x轴方向上所述吸附用部件所处的方向设为x1方向，在所述空气流路中，作为所述喷嘴，具备：与所述y轴方向上的所述吸附用部件的中央部分接触的第一喷嘴；与所述吸附用部件中的所述第一喷嘴和该吸附用部件的所述y轴方向的一端的中间接触的第二喷嘴；以及与所述吸附用部件中的所述第一喷嘴和该吸附用部件的所述y轴方向的另一端的中间接触的第三喷嘴。这样，在吸附用部件的上表面的y轴方向的整个区域中，容易吸附介质。另外，由于用于吸附介质的吸气口是由多孔质体构成的吸附用部件的气孔，形成在吸附用部件的整体上，因此吸附用部件能够不受介质的y轴方向上的介质的宽度限制地吸附介质。
6、在本专利技术中，可以是：所述非接触吸附盘具备在所述多孔质板的所述x1方向上沿所述y轴方向延伸的切口台阶部，所述切口台阶部具有朝向所述x1方向的壁面以及朝向所述上方的底面，在从所述x1方向侧观察的情况下，所述切口台阶部从所述多孔质板的所述y轴方向的一端延伸设置到另一端，所述下表面紧贴部固定于所述底面，在所述保持架固定于所述非接触吸附盘时，所述壁面紧贴于所述吸附用部件的所述第二侧面。这样，在将保持架固本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种浮起支撑装置，其特征在于，具有：
2.根据权利要求1所述的浮起支撑装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的浮起支撑装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的浮起支撑装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的浮起支撑装置，其特征在于，
6.一种外观检查装置，其特征在于，具有：
【技术特征摘要】
1.一种浮起支撑装置，其特征在于，具有：
2.根据权利要求1所述的浮起支撑装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的浮起支撑装置，其特征在于，
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