【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种产业用机器人，其包括臂、连结有臂的升降体、以及使升降体升降的升降机构。
技术介绍
1、以往，已知有搬送半导体晶片(semiconductor wafer)的水平多关节型的产业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的产业用机器人包括：搭载半导体晶片的手、在前端侧连结有手的臂、以及连结有臂的基端侧的主体部。所述产业用机器人设置于洁净室中使用。主体部包括：升降体，臂的基端侧与上表面侧连结；框体，能够升降地保持升降体；升降机构，收容于框体中并且使升降体相对于框体升降；以及排气风扇，用于排出框体的内部的气体。
2、在专利文献1中记载的产业用机器人中，在构成框体的底面的底面部形成有排气孔，所述排气孔使从排气风扇排出的气体通过。在构成框体的上表面的上表面部，形成有配置有升降体的一部分的开口。在所述产业用机器人中，设定排气风扇的每单位时间的排气量，以使得在升降体相对于框体下降时，框体的内部的气体不会从形成于框体的上表面部的开口的边缘与升降体的外周面之间所形成的间隙向臂侧流出。因此，在所述产业用机器人中，能够防止...
【技术保护点】
1.一种产业用机器人，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的产业用机器人，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的产业用机器人，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的产业用机器人，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的产业用机器人，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求4所述的产业用机器人，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种产业用机器人，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的产业用机器人，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的产业用机器人，其特征在于，
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：青木雅裕，栗林保，北原康行，细川正己，
申请(专利权)人：尼得科仪器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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