【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例涉及一种工艺监测器及其芯片老化测试方法。
技术介绍
1、由于传统的芯片工艺监测器不具备芯片老化测试功能，因此无法有效地测试芯片在极端条件下持续工作的芯片老化程度，且不容易判断芯片电路的使用寿命。
技术实现思路
1、本公开是针对一种具有芯片老化测试功能的工艺监测器及其芯片老化测试方法，可有效地测试芯片老化程度。
2、根据本公开的实施例，本公开的工艺监测器，用于芯片老化测试，包括译码器、逻辑电路、振荡器电路、多路复用器以及计数器。译码器输出选择信号。逻辑电路耦接译码器，并根据选择信号以及老化测试使能信号产生第一控制信号。振荡器电路耦接逻辑电路，并包括多个振荡器。多路复用器耦接逻辑电路以及译码器。计数器耦接振荡器电路。振荡器电路根据第一控制信号来输出至少一时钟信号至多路复用器，并多路复用器根据选择信号输出至少一时钟信号的其中之一个至计数器。计数器对至少一时钟信号的其中之一个进行计数，以输出对应于芯片老化程度的计数结果。本公开的工艺监测器及其老化测试方法，可有效地测试芯片老化程度。
3、根据本公开的实施例，本公开的工艺监测器的芯片老化测试方法包括以下步骤：通过译码器输出选择信号至逻辑电路以及多路复用器；通过逻辑电路根据选择信号以及老化测试使能信号产生第一控制信号至振荡器电路；通过振荡器电路根据第一控制信号来输出至少一时钟信号至多路复用器；通过多路复用器根据选择信号输出至少一时钟信号的其中之一个至计数器；以及通过计数器对至少一时钟信号的其中之一个进行计数
4、本公开的具有老化测试功能的工艺监测器及其芯片老化测试方法，可通过逻辑电路的设计来自动使能振荡器电路产生时钟信号，以有效地测试芯片老化程度。
5、为让本公开的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种工艺监测器，用于芯片老化测试，包括：
2.根据权利要求1所述的工艺监测器，还包括：
3.根据权利要求2所述的工艺监测器，其中，所述使能逻辑电路包括第一或逻辑电路，
4.根据权利要求1所述的工艺监测器，其中，所述振荡器电路包括多个振荡器，并且所述逻辑电路根据所述老化测试使能信号以及所述选择信号产生所述第一控制信号至所述振荡器电路，以使能所述多个振荡器的至少其中之一个输出所述至少一时钟信号。
5.根据权利要求4所述的工艺监测器，其中，所述逻辑电路包括第二或逻辑电路，所述第二或逻辑电路耦接所述多个振荡器的其中之一个，
6.根据权利要求5所述的工艺监测器，其中，所述逻辑电路包括与逻辑电路，所述与逻辑电路耦接所述多个振荡器的其中之另一个，
7.根据权利要求6所述的工艺监测器，其中，所述另一老化测试使能信号为所述老化测试使能信号的反相信号。
8.根据权利要求6所述的工艺监测器，其中，当所述工艺监测器执行老化测试模式时，所述多个振荡器的其中之一个被使能，并且所述多个振荡器的其中之另一个被禁能。
<...【技术特征摘要】
1.一种工艺监测器，用于芯片老化测试，包括：
2.根据权利要求1所述的工艺监测器，还包括：
3.根据权利要求2所述的工艺监测器，其中，所述使能逻辑电路包括第一或逻辑电路，
4.根据权利要求1所述的工艺监测器，其中，所述振荡器电路包括多个振荡器，并且所述逻辑电路根据所述老化测试使能信号以及所述选择信号产生所述第一控制信号至所述振荡器电路，以使能所述多个振荡器的至少其中之一个输出所述至少一时钟信号。
5.根据权利要求4所述的工艺监测器，其中，所述逻辑电路包括第二或逻辑电路，所述第二或逻辑电路耦接所述多个振荡器的其中之一个，
6.根据权利要求5所述的工艺监测器，其中，所述逻辑电路包括与逻辑电路，所述与逻辑电路耦接所述多个振荡器的其中之另一个，
7.根据权利要求6所述的工艺监测器，其中，所述另一老化测试使能信号为所述老化测试使能信号的反相信号。
8.根据权利要求6所述的工艺监测器，其中，当所述工艺监测器执行老化测试模式时，所述多个振荡器的其...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：北京壁仞科技开发有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。