一种防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构制造技术

技术编号:40892852 阅读:5 留言:0更新日期:2024-04-08 18:36
本技术涉及显示技术中UV清洁或固化制程领域,尤其涉及一种防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构。包括承载台面,所述承载台面上间隔排列设置有绝缘块。本技术通过在承载台面上设置不导电的绝缘块的方式,使玻璃和石英载台产生一点间距而无法直接接触,对制程影响微小的前提下又能够解决静电吸附导致的破片问题。本技术的结构成本低廉、取材便捷、制备简单,综合效益佳。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示技术中uv清洁或固化制程领域,尤其涉及一种防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构


技术介绍

1、oled(有机发光二极管)显示技术,与传统的lcd显示方式不同,无需背光,其显示质量与薄膜晶体管有源驱动液晶显示器(tft lcd)相比更好,制造成本更低。oled具有自发光特性,厚度可以小于1毫米,仅为lcd屏幕的1/3,具有超薄、便携的特性,且几乎没有可视角度的问题,即使在很大的视角下观看,画面仍然不失真,响应时间是lcd的千分之一,显示运动画面绝对不会有拖影的现象,通过柔软的基底材料进行制造下可实现曲面弯曲显示。相对于传统的lcd显示器屏,oled具有高亮度、宽视角、主动发光、高对比度等优点,是继阴极射线管(crt)、液晶显示(lcd)、等离子显示(pdp)之后的新一代显示技术。

2、现刚性oled制程中一般会经过两道uv制程,其中一道位于蒸镀前,主要目的是清洁基板上残留的有机物;另一道是位于封装段,主要是用于固化uv胶,起到在镭射frit胶前临时固定基盖板的同时在短时间内避免水氧入侵的目的。由于现有的uv制程中,不管是蒸镀前的uvclean基板还是封装段的uv固化合板(即基板与盖板贴合后称为合板),玻璃均会放置在石英载台上,uv光从底往上照射,随着经过玻璃数量的增加,石英载台上会不断累计静电(如正电荷),当其与玻璃上的异向电荷(如负电荷)接触时,便会产生静电吸附,严重的会导致破片。而每次破片的发生,就意味着要损失一定的产能来开腔清理破片。

3、如图1所示,uv光源100位于石英载台101下方,通过上照方式使uv光线透过石英载台101而作用在玻璃(基板或合板)102上,石英载台101为石英材质的玻璃,透过率一般大于90以上,因此对uv光的阻挡很有限。当要进行uv清洁或uv固化制程时,玻璃102通过机械手臂与夹爪103衔接后由夹爪103承载放置于石英载台101上,随后开启uv光进行照射一定的时间(不同产品不同功能uv制程条件不同)。当制程完成后,腔体内的夹爪103会将玻璃102抬起再通过机械手臂取走前往下一道制程(图2)。在这个过程中,由于玻璃与石英载台间带不同极性的电荷,根据异性相吸原理,正负电荷接触中和,就会出现玻璃中间与石英载台中部由于强大的静电吸附力而难以被抬起。随着石英载台上累计的静电荷越来越多,破片就会随之发生,造成需要停机开腔清理破片的麻烦,最终影响产能并且增加生产成本的弊端。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题,在于提供一种防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,可缓解甚至避免静电吸附而导致破片的问题。

2、本技术是这样实现的:

3、一种防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,包括承载台面,所述承载台面上间隔排列设置有绝缘块。

4、进一步地,所述绝缘块的厚度为0.2-5mm。

5、进一步地,所述绝缘块通过uv胶与所述承载台面连接。

6、进一步地,所述绝缘块的形状包括柱形、圆台形。

7、进一步地,所述绝缘块包括耐热胶带、铁氟龙垫片。

8、进一步地,所述绝缘块的设置需避开合板内uv胶的位置。

9、进一步地,所述绝缘块的上下表面均呈水平面。

10、本技术的优点在于:通过在承载台面上设置不导电的绝缘块的方式,使玻璃和石英载台产生一点间距而无法直接接触,对制程影响微小的前提下又能够解决静电吸附导致的破片问题。本技术的结构成本低廉、取材便捷、制备简单,综合效益佳。

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【技术保护点】

1.一种防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,包括承载台面,其特征在于:所述承载台面上间隔排列设置有绝缘块;

2.如权利要求1所述的防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,其特征在于:所述绝缘块的厚度为0.2-5mm。

3.如权利要求1所述的防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,其特征在于:所述绝缘块与所述承载台面之间设有UV胶。

4.如权利要求1所述的防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,其特征在于:所述绝缘块的形状包括柱形、圆台形。

5.如权利要求1所述的防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,其特征在于:所述绝缘块包括耐热胶带、铁氟龙垫片。

【技术特征摘要】

1.一种防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,包括承载台面,其特征在于:所述承载台面上间隔排列设置有绝缘块;

2.如权利要求1所述的防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构,其特征在于:所述绝缘块的厚度为0.2-5mm。

3.如权利要求1所述的防止玻璃静电吸附导致破片的载台结构...

【专利技术属性】
技术研发人员:林志斌陈瑞梁
申请(专利权)人:福建华佳彩有限公司
类型:新型
国别省市:

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