【技术实现步骤摘要】
本申请涉及流量调节领域，尤其涉及一种调节流体流量的方法、装置、计算机系统与可存储介质。
技术介绍
1、在半导体集成电路加工过程中，一些加工工艺如清洗、刻蚀、氧化及还原等操作，都需要使用特定的化学品或气体。此类化学品或气体往往以流体的形式存在，通过管路输送到工艺腔体内，以使相应的加工工艺顺利进行。
2、在现有的流体控制系统中，往往采用人工调节机械阀门的方式调节流体的流量；工作人员通过流量计检测流体的流量和总量，结合以往的工作经验判断流体的大致情况，若流体的流量过大，则关紧机械阀门。此方法依赖于人工调节，调节精度低，且人工无法实时响应加工过程中的流体的参数变化并作出调整，导致加工过程不稳定，影响产品的质量和产量。
3、故，流体的精确控制对产品的质量和产量至关重要，如何提供一种精确的调节流体流量的方法是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请提供了调节流体流量的方法、装置、计算机系统与可存储介质，以实现实时根据流体的温度与压力对流体的流量进行调节，提高了流量调节的精确性，确保了加工过程的稳定性。
2、本申请提供了如下技术方案：
3、本申请第一方面提供了一种调节流体流量的方法，包括：
4、获取流体当前的温度值、压力值与流量值；
5、根据流量值、温度值、压力值、预设温度阈值与预设压力阈值，确定流体的目标流量值；
6、当温度值不符合预设温度阈值时，和/或，当压力值不符合预设压力阈值时，调节流
7、优选地，流体的流量还根据以下至少一项因素确定；
8、流体的粘度；
9、流体的密度；
10、管路的直径与截面形状；管路用于通过流体。
11、优选地，当温度值不符合预设温度阈值时，调节流体的流量使其符合目标流量值，包括：
12、比较温度值与预设温度阈值，获得第一比较结果；
13、根据第一比较结果，确定第一预设流量调节策略；
14、基于流量值与第一预设流量调节策略调节流体的流量使其符合目标流量值。
15、优选地，当压力值不符合预设压力阈值时，调节流体的流量使其符合目标流量值，包括：
16、比较压力值与预设压力阈值，获得第二比较结果；
17、根据第二比较结果，确定第二预设流量调节策略；
18、基于流量值与第二预设流量调节策略调节流体的流量使其符合目标流量值。
19、优选地，调节流体流量的方法还包括：
20、获取流体的历史温度值、历史压力值与历史流量值；
21、并建立权重模型；
22、将历史温度值、历史压力值作为输入数据，将历史流量值作为输出数据，输入至权重模型进行训练以得到与权重模型对应的温度权重系数与压力权重系数；温度权重系数与压力权重系数为定值。
23、优选地，调节流体流量的方法还包括：
24、根据流体的历史温度值、历史压力值和历史流量值与当前的温度值、压力值和流量值，生成压力变化趋势表、温度变化趋势表与流量变化趋势表；
25、基于压力变化趋势表、温度变化趋势表与流量变化趋势表，确定预警信息。
26、优选地，所述基于所述压力变化趋势表、所述温度变化趋势表与所述流量变化趋势表，确定预测信息，包括：
27、生成时间轴；
28、根据压力变化趋势表、温度变化趋势表与流量变化趋势表，确定压力值、温度值、流量值发生显著变化的时间节点；
29、将时间节点标记于时间轴；
30、根据时间节点确定预测信息；预测信息包括压力预测值、温度预测值、流量预测值以及与三者对应的预计出现的时间节点。
31、本申请第二方面提供了一种调节流体流量的装置，包括：
32、控制单元、检测单元与调节单元；
33、检测单元，用于获取流体当前的温度值、压力值与流量值并将其转换为电信号传输至控制单元；
34、控制单元，用于接收电信号，根据流量值、温度值、压力值、预设温度阈值与预设压力阈值，确定流体的目标流量值；
35、调节单元，用于当温度值不符合预设温度阈值时，和/或，当压力值不符合预设压力阈值时，调节流体的流量使其符合目标流量值。
36、优选地，检测单元包括：温度传感器、压力传感器与流量传感器；
37、控制单元包括：plc；
38、调节单元包括：至少一个调节阀。
39、本申请第三发面提供了一种计算机系统，包括：存储器与处理器；
40、存储上存储有可在处理器上运行的计算机程序，当计算机程序被处理器执行时，执行第一方面提供的的调节流体流量的方法。
41、本申请第四方面提供了一种计算机可读存储介质，其存储有计算机程序，当计算机程序被执行时，实现第一方面提供的的调节流体流量的方法。
42、本申请的技术方案具有如下的效果：
43、本申请提供的技术方案中，一种调节流体流量的方法、装置、计算机系统与可存储介质，其中方法包括：获取流体当前的温度值、压力值与流量值；根据流量值、温度值、压力值、预设温度阈值与预设压力阈值，确定流体的目标流量值；当温度值不符合预设温度阈值时，和/或，当压力值不符合预设压力阈值时，调节流体的流量使其符合目标流量值。本方式根据流体的温度值和压力值对流体的流量进行实时自动调节，解决了人工调节阀门精度低、无法根据参数实时变化做出调整的问题，提高了流量调节的精确性，确保了加工过程的稳定性。
44、进一步地，基于权重模型对流体的历史温度、历史压力、历史流量进行计算，确定温度权重系数与压力权重系数，可以实时预测流体的流量，帮助了解温度与压力对流量的影响程度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种调节流体流量的方法，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
8.一种调节流体流量的装置，其特征在于，
9.一种计算机系统，其特征在于，
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种调节流体流量的方法，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的调节流体流量的方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：任璐璐，任志强，张虎，季中伟，
申请(专利权)人：无锡展硕科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。