超高纯度无水氟化氢及超高纯度氢氟酸的连续化制备方法技术

本发明专利技术公开了超高纯度无水氟化氢及超高纯度氢氟酸的连续化制备方法，通过在精馏工序之前完全进行F<subgt;2</subgt;气体的吸收处理，比以往的精馏效果，可以实现更高纯度，获得金属杂质小于10ppt超高纯度无水氟化氢以及金属杂质小于1ppt的超高纯度氟化氢酸，能够降低精馏引起的HF的损失，提高精馏效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于化工领域，涉及无水氟化氢，尤其涉及超高纯度无水氟化氢及超高纯度氢氟酸的连续化制备方法，本专利技术可以连续化生产制得金属杂质小于10ppt超高纯度无水氟化氢以及金属杂质小于1ppt的超高纯度氟化氢酸。

技术介绍

1、全球高纯度氟化氢及氢氟酸的制造，日本企业拥有主权。其制造方法在1900年代末已经确立，之后的技术上没有大的进展，现在可以批量生产grade4(semi标准，upss)的主要金属杂质在100ppt以下的产品。

2、通常，ppt级别的高纯度hf是将3n左右的无水hf作为原料，进行数段蒸馏而制造的。对于杂质中具有as(砷)、s(硫)等拥有多个氧化价位数的杂质原子，通过具有强氧化力的f2气体将该杂质原子完全转化为最高氧化价位数的氧化物进行去除。另外，可以明确可以通过f2气体，将原料的无水hf中的水分也可以转化为hf而除去。

3、然而，以上都是仅在精馏工序中进行基于f2气体的吸收处理。

4、为了解决该问题，stella公司提出了通过在精馏工序的中途使无水氟化氢吸收氟化气体，将具有多个氧化价位数的杂质元素氟化本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，步骤1)所述的完全无水化后，无水氟化氢中水分浓度为1ppm以下。

3.根据权利要求1所述的完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，步骤1)所述的完全无水化后，无水氟化氢中水分浓度为100ppb以下。

4.根据权利要求1所述的完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，所述杂质元素至少包括As、B、S或P中的一种或一种以上的元素。

5.利用权利要求1-4任一项所述的完全无水化氟化氢...

【技术特征摘要】

1.完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，步骤1)所述的完全无水化后，无水氟化氢中水分浓度为1ppm以下。

3.根据权利要求1所述的完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，步骤1)所述的完全无水化后，无水氟化氢中水分浓度为100ppb以下。

4.根据权利要求1所述的完全无水化氟化氢精馏原料的制备方法，其特征在于，所述杂质元素至少包括as、b、s或p中的一种或一种以上的元素。

5.利用权利要求1-4任一项所述的完全无水化氟化氢作为精馏原料在连续化制造3000t以上的杂质浓度为50ppt以下的高纯度...

【专利技术属性】
技术研发人员：藪根辰弘，何正纲，
申请(专利权)人：四达氟塑股份有限公司，
类型：发明
国别省市：