【技术实现步骤摘要】
本技术涉及工厂自动化搬送设备，具体是一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车。
技术介绍
1、在工厂自动化系统晶圆盒存储系统在搬送晶圆盒由于自动搬运车上的fork(也可称伸缩货叉)需要做升降动作。
2、在现有的搬运车中，fork的垂直方向运动多是通过一台减速电机驱动同步带轮，通过同步带带动fork在直线导轨上上升下降，其中同步带两侧分别固定有fork组件及配重组件。此种方式fork组件及配重组件都需做直线运动，设备具有2个震动源会产生较大震动；另同步带材质为非金属材质，材质本身具有一定的伸缩性，fork在升降过程中由于同步带的伸缩性会产生震动，因而会出现晶圆盒中产品因震动发生位移并损坏。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，包括z轴组件，所述z轴组件上设有取放单元，所述取放单元与所述z轴组件上下滑动连接，所述z轴组件内设有用于驱动所述取放单元上下滑动的动力部；
4、所述动力部包括位于所述z轴组件上下两端的从动链轮、主动链轮，所述从动链轮、主动链轮上绕接有链条，所述链条的两端分别绕过所述从动链轮、主动链轮后均与所述取放单元连接。
5、作为本技术进一步的方案：所述z轴组件底部设有减速电机，所述减速电机与所述主动链轮动力连接。
6、作为本技术进一步的方案：所述主动链轮
7、作为本技术进一步的方案：所述z轴组件包括两条平行布置的直线导轨，所述直线导轨沿z轴方向布置，所述取放单元与所述直线导轨上的滑块固定连接。
8、作为本技术进一步的方案：所述取放单元靠近所述链条的一端固定连接有安装背板，所述链条的两端分别通过上端链条固定件、下端链条固定件与所述安装背板连接，所述下端链条固定件与所述安装背板之间设有压缩弹簧。
9、作为本技术进一步的方案：所述z轴组件外侧设有外部罩板，所述动力部位于所述外部罩板内，所述外部罩板靠近所述取放单元的位置设有避让槽，所述取放单元后方穿过所述避让槽与所述链条两端连接。
10、作为本技术进一步的方案：所述z轴组件上下两端分别设有上端滚轮组件、下端滚轮组件，所述上端滚轮组件、下端滚轮组件上绕接有密封皮带，所述密封皮带两端分别绕过上端滚轮组件、下端滚轮组件并与所述取放单元固定连接，所述密封皮带位于所述避让槽前端且覆盖避让槽。
11、作为本技术进一步的方案：所述主动链轮、从动链轮均为双链轮结构，所述链条设有两条且平行布置。
12、作为本技术进一步的方案：所述外部罩板一侧固定连接有efu。
13、作为本技术进一步的方案：所述z轴组件上下两端分别设有上部行走部、下部行走部，所述z轴组件两侧分别设有电柜、维修爬梯组件。
14、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
15、1、本申请通过传动链条作为传动组件，并且通过多个导向链轮保证链条运动的稳定性，进而可以带动取放组件精准的上下移动，同时还设有直线导轨，通过直线导轨和传动链轮的导向以及传动方向，链条的下端链条固定件与所述安装背板之间设有压缩弹簧此弹簧在取放组件移动停止时可以作为缓冲；可以极大的抑制震动的产生，减少晶圆盒内的产品因震动发生损坏，提升产品的良品率；
16、2、本申请通过设置外部罩壳以及密封皮带将本申请的传动组件置于一个相对封闭的空间内，也就是传动组件与取放组件处于两个相对隔离的空间的，这样，链条传动过程中，调了磨损所产生的颗粒物、以及链条上润滑油产生的油污不会飘到取放组件所在的工作空间内，不会影响设备的洁净度，同时通过设置风机过滤机组，可以进一步对链条传动组件工作过程中产生的灰尘等进行过滤，降低对传动组件的影响，提高传动的精度；
17、3、本申请在用链条传动，链条具有较大的过载能力同时稳定性好能有效减少设备的故障率，降低维护成本，同时结构简单，传动效率高，能有效降低客户的使用能耗。
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1.一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，包括Z轴组件(200)，所述Z轴组件(200)上设有取放单元(206)，所述取放单元(206)与所述Z轴组件(200)上下滑动连接，所述Z轴组件(200)内设有用于驱动所述取放单元(206)上下滑动的动力部；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述Z轴组件(200)底部设有减速电机(201)，所述减速电机(201)与所述主动链轮(202)动力连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述主动链轮(202)与所述从动链轮(205)之间至少设有一组导向链轮(203)，所述链条(204)与所述导向链轮(203)配合布置。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述Z轴组件(200)包括两条平行布置的直线导轨(207)，所述直线导轨(207)沿Z轴方向布置，所述取放单元(206)与所述直线导轨(207)上的滑块固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，
6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述Z轴组件(200)外侧设有外部罩板(213)，所述动力部位于所述外部罩板(213)内，所述外部罩板(213)靠近所述取放单元(206)的位置设有避让槽，所述取放单元(206)后方穿过所述避让槽与所述链条(204)两端连接。
7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述Z轴组件(200)上下两端分别设有上端滚轮组件(211)、下端滚轮组件(212)，所述上端滚轮组件(211)、下端滚轮组件(212)上绕接有密封皮带(210)，所述密封皮带(210)两端分别绕过上端滚轮组件(211)、下端滚轮组件(212)并与所述取放单元(206)固定连接，所述密封皮带(210)位于所述避让槽前端且覆盖避让槽。
8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述主动链轮(202)、从动链轮(205)均为双链轮结构，所述链条(204)设有两条且平行布置。
9.根据权利要求6所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述外部罩板(213)一侧固定连接有EFU(214)。
10.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述Z轴组件(200)上下两端分别设有上部行走部(100)、下部行走部(400)，所述Z轴组件(200)两侧分别设有电柜(300)、维修爬梯组件(500)。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，包括z轴组件(200)，所述z轴组件(200)上设有取放单元(206)，所述取放单元(206)与所述z轴组件(200)上下滑动连接，所述z轴组件(200)内设有用于驱动所述取放单元(206)上下滑动的动力部；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述z轴组件(200)底部设有减速电机(201)，所述减速电机(201)与所述主动链轮(202)动力连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述主动链轮(202)与所述从动链轮(205)之间至少设有一组导向链轮(203)，所述链条(204)与所述导向链轮(203)配合布置。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述z轴组件(200)包括两条平行布置的直线导轨(207)，所述直线导轨(207)沿z轴方向布置，所述取放单元(206)与所述直线导轨(207)上的滑块固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒存储系统的自动搬运车，其特征在于，所述取放单元(206)靠近所述链条(204)的一端固定连接有安装背板(215)，所述链条(204)的两端分别通过上端链条固定件(208)、下端链条固定件(209)与所述安装背板(215)连接，所述下端链条固定件(209)与所述安装背板(215)之间设有压缩弹簧(216)。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：刘兵兵，肖强，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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