【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅芯清洗设备，尤其涉及一种硅芯清洗装置。
技术介绍
1、硅芯作为生产多晶硅时还原炉内多晶硅料沉积的载体，其表面洁净程度将直接影响到多晶硅成品的品质。硅芯在加工时通常要经过去头尾、切割、打磨等工序，使之符合客户需要的尺寸与形状，在此过程中硅芯表面会粘附硅泥粉尘而受到有机物和金属元素等污染，因此硅芯在使用前需进行清洗。现有硅芯清洗工艺主要是将硅芯放置在清洗设备中用hf和hno3混酸组成的清洗液浸泡，以此对硅芯表面进行有效蚀刻，但硅芯在浸泡时清洗液不流动，清洗效果差，最终影响硅芯品质；且硅芯清洗设备中物料与清洗篮接触的盲区不能得到有效清洗，同时硅芯清洗设备也存在清洗液利用率低、消耗量大的缺点，导致硅芯清洗成本变高。
2、现有技术中公开了一种清洗槽内旋转结构，使用电机带动链条、从动链轮和从动轴实现清洗篮的旋转，但从动轴较长且下方没有支撑构件，从动轴和从动链轮因受力较大而磨损加剧，现有技术中还公开了一种多功能硅产品酸洗装置，虽然能对硅芯、硅桥、籽晶和基料进行连续酸洗，但该设备卡接孔密集，硅芯间距较小，酸洗过程中温度急剧升高易导致水渍、酸斑，现有技术中还公开了一种硅芯清洗系统，能实现硅芯的安装、清洗、漂洗、烘干和硅芯清洗后的质量检测，但该系统的漂洗室只采用喷淋头冲洗硅芯表面的残留酸液，酸液冲洗不彻底会使硅芯表面产生酸斑；而且清洗室与安装室仅用隔帘分隔，清洗酸液极易泄漏。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术实施例提供一种硅芯清洗装置，主要目的是提供一种能够降低局部构
2、为达到上述目的，本专利技术主要提供如下技术方案：
3、本专利技术实施例提供了一种硅芯清洗装置，该装置包括：
4、壳体部件，所述壳体部件具有滑动孔、进液孔和排液孔；
5、传动部件，所述传动部件包括支撑部件和转动部件，所述支撑部件包括气缸部件、第一连接轴、第一齿轮和第二齿轮，所述气缸部件的一端固定在地面，另一端转动连接于第一齿轮，所述第一连接轴的一端连接于所述第一齿轮，另一端穿过所述滑动孔并连接于所述第二齿轮，所述转动部件包括驱动齿轮和第一连接齿轮，所述驱动齿轮设置在所述壳体部件的底部，用于连接于驱动设备，所述第一连接齿轮分别与所述第一齿轮和所述驱动齿轮啮合；
6、导辊部件，所述导辊部件设置在所述壳体部件的底部；
7、安装部件，所述安装部件放置在所述导辊部件的上部，所述安装部件的两端具有齿轮盘，所述齿轮盘能够与所述第二齿轮啮合。
8、进一步的，所述支撑部件包括第一支撑部件、第二支撑部件、第三支撑部件和第四支撑部件，所述转动部件包括第一转动部件和第二转动部件，所述第一转动部件和第二转动部件分别设置在所述壳体部件的两端，所述第一支撑部件和所述第二支撑部件的所述第一齿轮分别与所述第一转动部件的所述第一连接齿轮啮合，所述第一支撑部件和所述第二支撑部件的所述第二齿轮分别与所述齿轮盘啮合，所述第三支撑部件和所述第四支撑部件的所述第一齿轮分别与所述第二转动部件的所述第一连接齿轮啮合，所述第三支撑部件和所述第四支撑部件的所述第二齿轮分别与所述齿轮盘啮合。
9、进一步的，所述传动部件还包括传动轴、第一支撑座和第二支撑座，所述第一支撑座和所述第二支撑座分别设置在所述壳体部件的两端底部，所述传动轴的两端侧面滚动连接于所述第一支撑座和所述第二支撑座，所述传动轴的两端分别固定连接于所述第一转动部件和所述第二转动部件的所述驱动齿轮。
10、进一步的，所述壳体部件包括本体和遮盖板部件，所述本体的两端端面分别设置所述滑动孔，所述遮盖板部件包括第一遮盖板和第二遮盖板，用于遮盖所述滑动孔，所述第一支撑部件的所述第一连接轴穿过并连接所述第一遮盖板，所述第二支撑部件的所述第一连接轴穿过并连接所述第二遮盖板。
11、进一步的，所述壳体部件还包括第一盖体和第二盖体，所述本体的上部具有开口，所述第一盖体和所述第二盖体转动连接于所述本体的两侧，用于遮盖所述开口。
12、进一步的，所述导辊部件包括支撑件和多个导辊本体，支撑件固定在所述壳体部件的底部，多个导辊本体转动连接于所述支撑件。
13、进一步的，多个所述导辊本体的轴线的连线呈圆弧线分布。
14、进一步的，所述安装部件还包括固定盘和固定轴，所述固定盘分别设置在所述固定轴的两端和中部，所述固定盘上设置多个固定孔，用于固定硅芯。
15、进一步的，所述固定轴包括中心轴和三个边缘轴，所述三个所述边缘轴呈三角形结构安装在固定盘上，所述中心轴安装在所述固定盘的轴线位置。
16、进一步的，所述固定盘包括第一固定盘、第二固定盘和第三固定盘，所述第一固定盘和所述第二固定盘安装在所述固定轴的两端，所述齿轮盘可拆卸连接于所述第一固定盘和第二固定盘的外侧，所述第三固定盘安装在所述固定轴的中部。
17、与现有技术相比，本专利技术具有如下技术效果：
18、本专利技术实施例提供的技术方案中，壳体部件的作用是装载清洗液，壳体部件具有滑动孔、进液孔和排液孔；传动部件的作用是驱动安装部件转动，传动部件包括支撑部件和转动部件，支撑部件包括气缸部件、第一连接轴、第一齿轮和第二齿轮，气缸部件的一端固定在地面，另一端转动连接于第一齿轮，第一连接轴的一端连接于第一齿轮，另一端穿过滑动孔并连接于第二齿轮，转动部件包括驱动齿轮和第一连接齿轮，驱动齿轮设置在壳体部件的底部，用于连接于驱动设备，第一连接齿轮分别与第一齿轮和驱动齿轮啮合；导辊部件的作用是支撑安装部件，导辊部件设置在壳体部件的底部；安装部件的作用是安装硅芯，安装部件放置在导辊部件的上部，安装部件的两端具有齿轮盘，齿轮盘能够与第二齿轮啮合，相对于现有技术，使用电机带动链条、从动链轮和从动轴实现清洗篮的旋转，但从动轴较长且下方没有支撑构件，从动轴和从动链轮因受力较大而磨损加剧，现有技术中还公开了一种多功能硅产品酸洗装置，虽然能对硅芯、硅桥、籽晶和基料进行连续酸洗，但该设备卡接孔密集，硅芯间距较小，酸洗过程中温度急剧升高易导致水渍、酸斑，现有技术中还公开了一种硅芯清洗系统，能实现硅芯的安装、清洗、漂洗、烘干和硅芯清洗后的质量检测，但该系统的漂洗室只采用喷淋头冲洗硅芯表面的残留酸液，酸液冲洗不彻底会使硅芯表面产生酸斑；而且清洗室与安装室仅用隔帘分隔，清洗酸液极易泄漏，本技术方案中，通过将硅芯安装在安装部件上，然后将安装部件放置在导辊部件上，驱动设备连接驱动齿轮，使第一连接齿轮转动，需要清洗硅芯时，气缸部件启动，使第一齿轮在滑动孔内移动直至第一齿轮与第一连接齿轮啮合，同时，第二齿轮与齿轮盘啮合，从而达到带动安装部件转动的作用，不仅解决了清洗过程中的清洗盲区的问题，还避免了局部构件产生严重磨损，从而降低了局部构件的更换频率，延长了设备的使用寿命。
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1.一种硅芯清洗装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
6.根据权利要求1至5任一项所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
8.根据权利要求1至5任一项所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
10.根据权利要求9所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种硅芯清洗装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的一种硅芯清洗装置，其特征在于，
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：厉忠海，史宏斌，王伟，王乐，王艳敏，姚懂，
申请(专利权)人：内蒙古大全半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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