【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械手控制领域，尤其涉及一种用于清洗的多机械臂协同控制系统。
技术介绍
1、机械臂设备的出现可以代替繁重的劳动，使生产机械化和自动化得以实现，并能在有害的环境中操作，从而对人身安全起到保障作用，由于机械臂作业的精确性和在各种环境下完成作业的能力而被广泛应用。
2、中国专利公开号：cn111546236a，公开了如下内容，该专利技术提供了一种边缘抛光装置及抛光吸盘垫清洗方法，所述边缘抛光装置包括：抛光吸盘、安装于抛光吸盘上的抛光吸盘垫、用于将已抛光的晶圆从抛光吸盘垫上移除的机械臂以及用于在对晶圆抛光后对抛光吸盘垫进行清洗的清洗装置，清洗装置包括：用于清洗抛光吸盘垫的清洗单元，以对抛光吸盘垫进行冲洗和刷洗；以及，与清洗单元固定连接的移动单元，移动单元用于带动清洗单元移动到抛光吸盘垫上的不同位置。该专利技术的技术方案能够减小抛光液在抛光吸盘垫上的积累速度，进而避免在对晶圆进行边缘抛光的过程中导致晶圆的底面产生凹坑缺陷，从而避免导致晶圆的良率下降。
3、但是，现有技术中，还存在以下问题：
4、在现有技术中，未考虑根据首次抛光效果对抛光装置后续运行时的抛光参数进行调整，以提高抛光效果。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本专利技术提供一种用于清洗的多机械臂协同控制系统，其包括：
2、清洗装置，其包括用以对晶片进行夹持的夹持机构以及均设置在所述夹持机构一侧的第一机械臂、第二机械臂、第三机械臂以及第四机械臂，所述第一机械臂、第二机械臂
3、巡检机构，其包括设置在所述第一机械臂上用以对抛光区域进行拍摄以获取第一图像的第一图像采集单元、设置在所述第二机械臂上用以对所述抛光区域进行拍摄以获取第二图像的第二图像采集单元以及设置在所述第三机械臂上用以对所述抛光区域进行拍摄以获取第三图像的第三图像采集单元；
4、中控处理器，其包括相互连接的第一控制单元、第二控制单元、第三控制单元以及第四控制单元，
5、所述第一控制单元与所述清洗装置以及巡检机构连接，用以控制所述第一机械臂上的抛光盘以预设的抛光参数沿预设运行轨迹进行首次抛光，并控制所述第一图像采集单元在所述首次抛光过程中拍摄第一图像；
6、所述第二控制单元与所述清洗装置以及巡检机构连接，用以基于所述第一图像的纹路特征对所述第二机械臂上的抛光盘的抛光参数进行调整，并沿所述预设运行轨迹进行二次抛光，并控制所述第二图像采集单元在所述二次抛光过程中拍摄第二图像；
7、所述第三控制单元与所述清洗装置以及巡检机构连接，用以基于所述第二图像的色彩特征对所述第三机械臂上的抛光盘的抛光参数进行调整，并沿所述预设运行轨迹进行三次抛光，并控制所述第三图像采集单元在所述三次抛光过程中拍摄第三图像；
8、所述第四控制单元与所述清洗装置连接，用以基于所述第一图像、第二图像以及第三图像的泡沫面积实时对所述喷水单元的喷射流量进行调整；
9、其中，所述抛光参数包括转动速度以及抛光力度。
10、进一步地，所述第二控制单元获取所述第一图像中的纹路特征，所述纹路特征包括各纹路的宽度以及纹路的数量，所述第二控制单元，按照公式(1)计算所述第一图像中各纹路的宽度的平均值△w，按照公式(2)计算纹路特征参量g，
11、
12、公式(1)中，wi表示所述第一图像中第i个纹路的最大宽度，n表示所述第一图像中纹路的数量，i为大于0的整数。
13、
14、公式(2)中，△w0表示预设的平均宽度对比参量，n0表示预设的数量对比参量。
15、进一步地，所述第二控制单元将所述纹路特征参量g与预设的第一纹路参量对比阈值g1以及第二纹路参量对比阈值g2进行对比，并根据对比结果对所述第二机械臂上的抛光盘的转动速度进行调整，其中，
16、在第一纹路参量对比条件下，所述第二控制单元将所述第二机械臂上的抛光盘的转动速度调整至第一转动速度值；
17、在第二纹路参量对比条件下，所述第二控制单元将所述第二机械臂上的抛光盘的转动速度调整至第二转动速度值；
18、在第三纹路参量对比条件下，所述第二控制单元将所述第二机械臂上的抛光盘的转动速度调整至第三转动速度值；
19、其中，所述第一纹路参量对比条件为g≥g2，所述第二纹路参量对比条件为g1≤g＜g2，所述第三纹路参量对比条件为g＜g1，所述第一转动速度值大于所述第二转动速度值，所述第二转动速度值大于所述第三转动速度值。
20、进一步地，所述第二控制单元将所述纹路特征参量g与预设的第一纹路参量对比阈值g1以及第二纹路参量对比阈值g2进行对比，并根据对比结果对所述第二机械臂上的抛光盘的抛光力度进行调整，其中，
21、在所述第一纹路参量对比条件下，所述第二控制单元将所述第二机械臂上的抛光盘的抛光力度调整至第一抛光力度值；
22、在所述第二纹路参量对比条件下，所述第二控制单元将所述第二机械臂上的抛光盘的抛光力度调整至第二抛光力度值；
23、在所述第三纹路参量对比条件下，所述第二控制单元将所述第二机械臂上的抛光盘的抛光力度调整至第三抛光力度值；
24、其中，所述第一抛光力度值大于所述第二抛光力度值，所述第二抛光力度值大于所述第三抛光力度值。
25、进一步地，所述第三控制单元获取所述第二图像的色彩特征，所述色彩特征包括所述第二图像的亮度值以及所述第二图像的色度值，所述第三控制单元按照公式(3)计算色彩特征参量r，
26、
27、公式(3)中，l表示所述第二图像的亮度值，l0表示预设的亮度对比参量，c表示所述第二图像的色度值，c0表示预设的色度对比参量。
28、进一步地，所述第三控制单元基于所述第二图像的色彩特征对所述第三机械臂上的抛光盘的抛光参数进行调整，其中，所述第三控制单元将所述色彩特征参量r与预设的第一色彩特征参量对比阈值r1以及第二色彩特征参量对比阈值r2进行对比，并根据对比结果对所述第三机械臂上的抛光盘的转动速度进行调整，
29、在第一反光参量对比条件下，所述第三控制单元将所述第三机械臂上的抛光盘的转动速度调整至第四转动速度值；
30、在第二反光参量对比条件下，所述第三控制单元将所述第三机械臂上的抛光盘的转动速度调整至第五转动速度值；
31、在第三反光参量对比条件下，所述第三控制单元将所述第三机械臂上的抛光盘的转动速度调整至第六转动速度值；
32、其中，所述第一反光参量对比条件为r≥r2，所述第二反光参量对比条件为r1≤r＜r2，所述第三反光参量对比条件为r＜r1，所述第四转动速度值小于所述第五转动速度值，所述第五转动速度值小于所述第六转动速度值，所述第六转动速度值小于所述第三转动速度值。
33、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第二控制单元获取所述第一图像中的纹路特征，所述纹路特征包括各纹路的宽度以及纹路的数量，所述第二控制单元按照公式(1)计算所述第一图像中各纹路的宽度的平均值△W，按照公式(2)计算纹路特征参量G，
3.根据权利要求2所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第二控制单元将所述纹路特征参量G与预设的第一纹路参量对比阈值G1以及第二纹路参量对比阈值G2进行对比，并根据对比结果对所述第二机械臂上的抛光盘的转动速度进行调整，其中，
4.根据权利要求3所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第二控制单元将所述纹路特征参量G与预设的第一纹路参量对比阈值G1以及第二纹路参量对比阈值G2进行对比，并根据对比结果对所述第二机械臂上的抛光盘的抛光力度进行调整，其中，
5.根据权利要求1所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第三控制单元获取所述第二图像的色彩特征，所述色彩特征包括所述第
6.根据权利要求5所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第三控制单元基于所述第二图像的色彩特征对所述第三机械臂上的抛光盘的抛光参数进行调整，其中，所述第三控制单元将所述色彩特征参量R与预设的第一色彩特征参量对比阈值R1以及第二色彩特征参量对比阈值R2进行对比，并根据对比结果对所述第三机械臂上的抛光盘的转动速度进行调整，
7.根据权利要求6所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第三控制单元将所述色彩特征参量R与预设的第一色彩特征参量对比阈值R1以及第二色彩特征参量对比阈值R2进行对比，并根据对比结果对所述第三机械臂上的抛光盘的抛光力度进行调整，其中，
8.根据权利要求1所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第四控制单元基于所述第一图像、第二图像以及第三图像的泡沫面积实时对所述喷水单元的喷射流量进行调整，其中，
9.根据权利要求1所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述中控处理器与外接的显示屏幕连接，用以显示各机械臂上抛光盘的抛光参数信息。
10.根据权利要求1所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第一机械臂上抛光盘的抛光粗糙度大于所述第二机械臂上抛光盘的抛光粗糙度，所述第二机械臂上抛光盘的抛光粗糙度大于所述第三机械臂上抛光盘的抛光粗糙度。
...【技术特征摘要】
1.一种用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第二控制单元获取所述第一图像中的纹路特征，所述纹路特征包括各纹路的宽度以及纹路的数量，所述第二控制单元按照公式(1)计算所述第一图像中各纹路的宽度的平均值△w，按照公式(2)计算纹路特征参量g，
3.根据权利要求2所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第二控制单元将所述纹路特征参量g与预设的第一纹路参量对比阈值g1以及第二纹路参量对比阈值g2进行对比，并根据对比结果对所述第二机械臂上的抛光盘的转动速度进行调整，其中，
4.根据权利要求3所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第二控制单元将所述纹路特征参量g与预设的第一纹路参量对比阈值g1以及第二纹路参量对比阈值g2进行对比，并根据对比结果对所述第二机械臂上的抛光盘的抛光力度进行调整，其中，
5.根据权利要求1所述的用于清洗的多机械臂协同控制系统，其特征在于，所述第三控制单元获取所述第二图像的色彩特征，所述色彩特征包括所述第二图像的亮度值以及所述第二图像的色度值，所述第三控制单元按照公式(3)计算色彩特征参量r，
6.根据权利要求5所述的用于清洗的多机械...
【专利技术属性】
技术研发人员：管威，王海龙，聂先合，
申请(专利权)人：苏州晶淼半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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