光谱检测装置及其制作方法、光谱仪制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光谱检测装置及其制作方法、光谱仪，本发明专利技术涉及光电检测器件技术领域。其中，光谱检测装置包括：基板、波导件、光电探测件。波导件设置于基板的表面，并通过光输入端接收光纤传输的待测光线。光线在通过波导件时，波导件对获取的待测光线进行不同波长的筛选，以在波导件的光电响应端得到对应所需波长的目标光线。光电探测件对目标光线进行光电转换，得到光电转换信号，并由目标设备根据光电转换信号进行光谱检测处理。本实施例的光谱检测装置中波导件能够有效适配微型光谱仪的小型化设计，在该前提下，通过波导件对不同波长光线的筛选，使得检测到的光谱信息更为精准，即提高了光谱检测的精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电检测器件，尤其是涉及一种光谱检测装置及其制作方法、光谱仪。

技术介绍

1、目前，微型光谱仪需要设计紧凑的光学系统，以最大程度地减小光谱仪的体积和重量。

2、相关技术中，由于微型光谱仪的小型化设计，需要减小整体尺寸，从而使得光谱仪在光路设计上存在折射率失配等问题，进而导致微型光谱仪对光谱检测的精度低下。因此，如何提供一种光谱检测装置，以在适配微型光谱仪的小型化设计的前提下，提高光谱检测的精度，成了亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种光谱检测装置，能够在适配微型光谱仪的小型化设计的前提下，提高光谱检测的精度。

2、本专利技术还提出一种光谱检测装置的制作方法，以及具有上述光谱检测装置的光谱仪。

3、根据本专利技术的第一方面实施例的光谱检测装置，包括：

4、基板；

5、波导件，所述波导件均设置于所述基板的表面，所述波导件的光输入端均与光纤连接；其中，所述光纤用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.光谱检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光谱检测装置，其特征在于，所述波导件的数量为N个，每个所述波导件均设置于所述基板的表面，相邻的两个所述波导件沿目标方向相互平行设置，任两个所述波导件在所述目标方向上的长度互不相同，每个所述波导件在所述目标方向上的一端为所述光输入端，每个所述波导件在所述目标方向上的另一端为所述光电响应端，每个所述波导件的光输入端均与光纤连接，每个所述波导件的光电响应端均与一个所述光电探测件连接；其中，N为大于或等于2的正整数。

3.根据权利要求2所述的光谱检测装置，其特征在于，所述光电探测件包括：p>

4.根据权...

【技术特征摘要】

1.光谱检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光谱检测装置，其特征在于，所述波导件的数量为n个，每个所述波导件均设置于所述基板的表面，相邻的两个所述波导件沿目标方向相互平行设置，任两个所述波导件在所述目标方向上的长度互不相同，每个所述波导件在所述目标方向上的一端为所述光输入端，每个所述波导件在所述目标方向上的另一端为所述光电响应端，每个所述波导件的光输入端均与光纤连接，每个所述波导件的光电响应端均与一个所述光电探测件连接；其中，n为大于或等于2的正整数。

3.根据权利要求2所述的光谱检测装置，其特征在于，所述光电探测件包括：

4.根据权利要求3所述的光谱检测装置，其特征在于，所述光电转换器设置于所述波导件的光电响应端远离所述基板的一侧。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐浩东，陈威，杜静峰，陆恺杰，杜育航，陈泓石，郝俊杰，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：发明
国别省市：