【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半球谐振平板电极制造，具体涉及一种用于半球谐振陀螺平板电极清洗的异性装置和方法，应用于半球谐振电极的表面清洗。
技术介绍
1、半球谐振陀螺具有高精度、小体积以及低成本等诸多显著优点。作为半球谐振陀螺的核心部件，平板电极本体一般由石英玻璃精密加工而成。为了实现电容式激励与检测反馈半球谐振子状态的需求，需在平板电极本体表面镀制金属膜层，然后通过图形化膜层形成所需电极结构形貌。为了确保电极表面金属膜层均匀，在镀膜前需要对石英电极本体进行仔细清洗，以清除表面多余物(包括颗粒，有机物等)。
2、当前已有放置电极的装置是把待清洗的电极平行放置在一个平面内凹槽内。这种装置有以下不足之处：其一是未使用立体空间，导致空间利用率较低，很难实现批量化生产。其二是当电极平放在装置上清洗时，电极背面紧贴工装，液体不易流过其背面，反应溶液无法实现对流置换导致其背面不能被较好地清洗。其三，电极被平放未形成导流道，使得浸润反应的液体也无法能够自主导出，增加了清洗的难度。其四，电极在清洗完毕之后，需要对其表面吹干，然后进入烘箱烘干。而当前已有的装置很难固定住电极，使得其表面无法吹干，使得表面存在水渍，影响最终镀膜质量。
3、当前对于石英片的清洗方法较多，已有成熟完整的清洗制备工艺。然而这些清洗工艺很难清洗干净带有深细孔半球谐振平板电极。由于半球谐振平板电极上布有较多的深细孔，浸润溶液很难进入深细孔里面形成物理或化学液体置换反应。与此同时，反应后的多余物也不易排出，使得清洗效果较差。
技术实现思路<
1、针对当前已有放置电极的装置很难实现批量化生产、清洗难度高、电极背面不易清洗等问题，本专利技术目的在于提供一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置和方法，一方面可以批量化清洗电极本体，另一方面可以使清洗效果得到显著地提升。
2、为实现本专利技术目的，本专利技术提供了一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置和方法，采取技术方案如下：
3、一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，包括置物架、中心杆、盖子，所述置物架为带有多边形通孔的圆形柱以及周围一圈均匀分布多个树杈构成，多层置物架于多边形通孔穿过中心杆串联紧固于一起，谐振电极斜挂在所述树杈上。
4、进一步的，所述中心杆下端有一限位块，中间部分为与置物架多边形通孔配合的多边形柱，上端有螺纹，多层置物架于多边形通孔穿过中心杆，下端通过限位块限位，上端通过带有螺纹的盖子螺紧串联配合固定。
5、进一步的，所述树杈分为树杈上段与树杈下段，所述树杈上段与中心杆轴线呈一定角度放置，谐振电极通过中心孔穿过斜挂在树杈上段上。
6、进一步的，所述置物架的树杈下段尾端垂直放置，与下层置物架树杈的树杈上段形成配合，使得挂在树杈上的电极不易脱离。
7、基于所述的用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，本专利技术提供了一种半球谐振平板电极的清洗方法，其特征在于，具体包括以下步骤：
8、第一步，将电极置于清洗槽中，使用去离子水对电极进行溢流鼓泡清洗以及冲洗；
9、第二步，将电极置于有机溶液中，同时使用超声清洗设备超声浸泡若干分钟后，再次使用去离子水对电极进行溢流鼓泡清洗以及冲洗；
10、第三步，将电极置于玻璃洗液中浸泡若干小时以上，待取出之前，使用超声清洗设备超声浸泡若干分钟后，再次将电极置于水槽中使用去离子水冲洗；
11、第四步，将电极表面使用氮气吹干，放入烘箱进行烘干。
12、本专利技术与现有技术相比的有益效果：
13、(1)可以批量化清洗电极本体。由于立体空间的使用，专利技术的清洗装置一次性可以装超过20个以上的电极，使得清洗的效率得到显著地提高。
14、(2)清洗效果得到显著地提升。一方面，由于异型装置的使用，使得电极本体与反应液体的接触面增大，倾斜的角度也使得表面液体容易导出，这使得清洗效果得到提升。另一方面，专利技术的清洗方法深刻考虑了深细孔难以清洗干净的痛点，通过优化清洗手段以及流程使得清洗效果得到提升。
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1.一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，其特征在于，包括：置物架、中心杆(5)、盖子(3)，所述置物架为带有多边形通孔的圆形柱以及周围一圈均匀分布多个树杈构成，多层置物架于多边形通孔穿过中心杆(5)串联紧固于一起，谐振电极(1)斜挂在所述树杈上。
2.根据权利要求1所述的一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，其特征在于，所述中心杆(5)下端有一限位块，中间部分为与置物架多边形通孔配合的多边形柱，上端有螺纹，多层置物架于多边形通孔穿过中心杆(5)，下端通过限位块限位，上端通过带有螺纹的盖子(3)螺紧串联配合固定。
3.根据权利要求1所述的一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，其特征在于，所述树杈分为树杈上段(4)与树杈下段(2)，所述树杈上段(4)与中心杆(5)轴线呈一定角度放置，谐振电极(1)通过中心孔穿过斜挂在树杈上段(4)上。
4.根据权利要求3所述的一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，其特征在于，所述置物架的树杈下段(2)尾端垂直放置，与下层置物架树杈的树杈上段形成配合，使得挂在树杈上的电极不易脱离。
5.一种基于
6.根据权利要求5所述的清洗方法，其特征在于，所述有机溶液为丙酮或者无水乙醇，所述玻璃洗液为硫酸、重铬酸钾的混合溶液。
...【技术特征摘要】
1.一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，其特征在于，包括：置物架、中心杆(5)、盖子(3)，所述置物架为带有多边形通孔的圆形柱以及周围一圈均匀分布多个树杈构成，多层置物架于多边形通孔穿过中心杆(5)串联紧固于一起，谐振电极(1)斜挂在所述树杈上。
2.根据权利要求1所述的一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，其特征在于，所述中心杆(5)下端有一限位块，中间部分为与置物架多边形通孔配合的多边形柱，上端有螺纹，多层置物架于多边形通孔穿过中心杆(5)，下端通过限位块限位，上端通过带有螺纹的盖子(3)螺紧串联配合固定。
3.根据权利要求1所述的一种用于清洗半球谐振平板电极的异型装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐海刚，张鹏，台云硕，朱雅，王宝军，
申请(专利权)人：北京自动化控制设备研究所，
类型：发明
国别省市：
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