弹性波器件及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种弹性波器件及其制备方法，通过设置上功能层，可有效提升弹性波器件的散热能力和散热效率，降低弹性波器件温度，从而增强弹性波器件的功率耐受和工作寿命；能够有效提升弹性波的传播声速，且将弹性波的能量有效约束在压电层和上功能层内部，能够提高弹性波器件的工作频率和品质因数，从而能在更大的叉指线宽下实现高频和低损耗，对功率耐受有显著提升效果；能够有效调整弹性波的慢速度曲线和速度轮廓曲线，从而抑制或减弱横向杂散模式的激发；能够调整纵向杂散模式的激发强度和激发频率，可将纵向高阶杂波的谐振强度减弱，并远离目标弹性波，以获得更高的带外抑制和更干净的带外响应；从而可全面提升弹性波器件的性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微电子器件领域，涉及一种弹性波器件及其制备方法。

技术介绍

1、第五代移动通信(5g)技术的应用场景逐步扩展到智慧城市、智能家居、环境监测、自动驾驶、远程医疗等方面，重塑着人们的生活方式，加速了人们的沟通与互联。对于移动终端设备，为同步满足多代通信需求，射频前端模块所需支持的频段数目持续增长。伴随着多输入输出天线阵列技术的大规模使用，滤波器用量将大幅增加。然而，面向移动设备续航、微基站的发展等需求，设备尺寸在逐步减小，因而需要在狭小的芯片上集成多个滤波器件。由于电子器件工作产热剧烈，为保证信号的稳定传输，对滤波器的散热、功率耐受、带外抑制、通带平坦度和带边陡峭度等性能的要求都在不断提升。

2、对于弹性表面波滤波器件，其工作频率取决于弹性波相速度和叉指线宽。由于传统压电单晶中弹性波的声速较低，为实现高频器件，只能不断压缩叉指线宽。另外，压电单晶的热导率非常低，从而滤波器件的散热性能较差，这会导致电子器件产热无法及时耗散，带来器件结构的显著升温。同时，压电单晶的频率温度漂移系数较大，器件升温不仅会导致通带响应的稳定性较差，无法对邻带提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：

2.根据权利要求1所述的所述的弹性波器件，其特征在于：所述上功能层的热导率为所述压电层的热导率的3倍以上；所述上功能层的慢剪切波声速为所述目标模式的声速的1.2倍以上。

3.根据权利要求1所述的所述的弹性波器件，其特征在于：所述上功能层的结晶类型包括单晶体或多晶体；所述上功能层包括氮化铝层、碳化硅层、金刚石层、类金刚石层、氮化硅层、蓝宝石层、氧化镁层、氧化铝层、硅层、氮化镓层、碳化硼层及氮化硼层中的一种或组合。

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：当弹性波波长为λ时，所述压电层的厚度范围...

【技术特征摘要】

1.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：

2.根据权利要求1所述的所述的弹性波器件，其特征在于：所述上功能层的热导率为所述压电层的热导率的3倍以上；所述上功能层的慢剪切波声速为所述目标模式的声速的1.2倍以上。

3.根据权利要求1所述的所述的弹性波器件，其特征在于：所述上功能层的结晶类型包括单晶体或多晶体；所述上功能层包括氮化铝层、碳化硅层、金刚石层、类金刚石层、氮化硅层、蓝宝石层、氧化镁层、氧化铝层、硅层、氮化镓层、碳化硼层及氮化硼层中的一种或组合。

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：当弹性波波长为λ时，所述压电层的厚度范围为0.03λ～λ；所述上功能层的厚度范围为大于0.02λ且小于所述压电层的厚度；所述叉指电极的厚度范围为0.02λ～0.12λ。

5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述压电层包括钽酸锂层、铌酸锂层、石英层、铌酸钾层、氮化铝层、掺钪氮化铝层、氧化锌层、锆钛酸铅层、铌镁钛酸铅层、氮化镓层、氧化镓层或砷化镓层。

6.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述支撑衬底包括碳化硅衬底、金刚石衬底、类金刚石衬底、氮化镓衬底、碳化硼衬底、氮化硼衬底或氮化铝衬底；或所述支撑衬底包括位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张丽萍，吴进波，
申请(专利权)人：上海馨欧集成微电有限公司，
类型：发明
国别省市：