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本发明提供一种弹性波器件及其制备方法，通过设置上功能层，可有效提升弹性波器件的散热能力和散热效率，降低弹性波器件温度，从而增强弹性波器件的功率耐受和工作寿命；能够有效提升弹性波的传播声速，且将弹性波的能量有效约束在压电层和上功能层内部，能够...
该专利属于上海馨欧集成微电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海馨欧集成微电有限公司授权不得商用。

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