【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子器件领域，涉及一种弹性波器件。
技术介绍
1、移动终端实现通信的重要组成部分是射频前端模块，其中，带通滤波器是负责信号收发的核心器件，仅允许特定频率的信号通过。为满足通信系统和协议对信噪比的要求，滤波器件的通带平坦度、带内插入损耗、带边陡峭度、矩形度和带外抑制等性能都具有较高要求，且与日俱增。弹性波滤波器以其小尺寸、工艺简单等优势，在射频前端器件领域起着至关重要的作用。
2、对于目前的弹性波器件结构，由于叉指电极在横向方向的长度是有限的，在叉指末端存在“电极-空气”的边界面，此边界处声速的变化为由低到高，因此弹性波主模连同横向高阶杂散模式均被约束在叉指电极内部，并在弹性波的传播方向上叠加增强，因此在此器件结构中将会有多个模式的谐振峰同时存在，分布在主模谐振频率和反谐振频率之间的不同频率点位置，使滤波器件的通带中出现纹波，从而导致插入损耗增加，通带边缘的陡峭度恶化等问题，会严重影响信号的收发和器件温度稳定性。
3、针对这种杂散响应问题，目前采用的大部分方案都是对电极做变形设计，如变迹电极，即在每...
【技术保护点】
1.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述叉指沟槽包括贯穿所述功能调控层的贯通槽、底部位于所述功能调控层中的开口槽及位于所述功能调控层内部的内嵌槽中的一种或组合。
3.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述叉指电极的厚度包括大于、等于或小于所述叉指沟槽深度的一种或组合。
4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述叉指电极的侧壁与所述功能调控层之间具有间隙。
5.根据权利要求1～4中任一所述的弹性波器件，其特征在于：所述功能调控层中还包括设...
【技术特征摘要】
1.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：
2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述叉指沟槽包括贯穿所述功能调控层的贯通槽、底部位于所述功能调控层中的开口槽及位于所述功能调控层内部的内嵌槽中的一种或组合。
3.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述叉指电极的厚度包括大于、等于或小于所述叉指沟槽深度的一种或组合。
4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于：所述叉指电极的侧壁与所述功能调控层之间具有间隙。
5.根据权利要求1～4中任一所述的弹性波器件，其特征在于：所述功能调控层中还包括设置于所述叉指电极的指端附近区域的窗口沟槽。
6.根据权利要求5所述的弹性波器件，其特征在于：所述窗口沟槽的形貌包括圆形、椭圆形、扇形及多边形中的一种及组合；所述窗口沟槽中还具有填充材料层，且所述填充材料层的慢剪切波声速小于所述功能调控层的慢剪切波声速。
7.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：
8.根据权利要求7所述的弹性波器件，其特征在于：所述窗口沟槽的形貌包括圆形、椭圆形、扇形及多边形中的一种及组合；所述窗口沟槽中还具有填充材料层，且所述填充材...
【专利技术属性】
技术研发人员：张丽萍，吴进波，
申请(专利权)人：上海馨欧集成微电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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