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弹性波器件制造技术
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文档序号:40809910
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本发明提供一种弹性波器件,设置具有叉指沟槽和/或窗口沟槽的图案化的功能调控层,能够有效调整弹性波的速度轮廓曲线和能量积分,从而减弱或抑制横向杂散模式的激发,有利于谐振器和/或滤波器实现平坦的通带,降低插入损耗,提高矩形度和边带陡峭度,简化叉...
该专利属于上海馨欧集成微电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海馨欧集成微电有限公司授权不得商用。
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