【技术实现步骤摘要】
本技术涉及差压传感器，具体为一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构。
技术介绍
1、差压传感器，作为基本的压力测控现场仪表被广泛应用于诸多领域。随着我国控制工程作业自动化和精细化的提升，对差压传感器的测量精度、测量稳定性和测量可靠性等均提出了新的要求
2、例如授权公告号cn217819158u，一种高稳定差压传感器，上述文件通过芯片组件与传感器基体间采用橡胶圈密封，减少了焊接应力对单晶硅片的影响，提高了产品的测量精度，传感器可通过硅油进行压力的无损传递，提高传感器的稳定性，传感器焊接有中心膜片，能改善传感器的单边过载性能，适用于复杂工况，然而上述文件中的差压传感器结构，无法解决差压传感器长期稳定性较差差，尤其是微小量程1kpa和6kpa和单向过载容易损坏的问题，稳定性差的主要原因是差压传感器芯片应力的问题和中心膜片热稳定型的问题以及正负压腔体冲油量不均匀，抗过载能力差或者过载后不归零主要是保护膜片材质和焊接工艺的问题，本方案采用悬浮式焊接型底座，夹块安装时不受安装应力影响。同时起到耐介质高温。正负压腔采用对称结构和悬浮...
【技术保护点】
1.一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，包括组合型差压传感器烧结管座(1)，其特征在于：所述组合型差压传感器烧结管座(1)的底部内壁设置有陶瓷填充环(6)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)底部与可伐合金垫片(2)相连接，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的中部设有悬浮空腔(3)，所述可伐合金垫片(2)的内部设有单晶硅差压芯片(4)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的外壁与传感器焊接外环(9)相连接，所述传感器焊接外环(9)的底端与悬浮式焊接底座(7)固定相连，所述传感器焊接外环(9)的外壁与壳体焊接环(8)固定相连，所述壳体焊接环(8)的外壁与螺纹连接外...
【技术特征摘要】
1.一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，包括组合型差压传感器烧结管座(1)，其特征在于：所述组合型差压传感器烧结管座(1)的底部内壁设置有陶瓷填充环(6)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)底部与可伐合金垫片(2)相连接，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的中部设有悬浮空腔(3)，所述可伐合金垫片(2)的内部设有单晶硅差压芯片(4)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的外壁与传感器焊接外环(9)相连接，所述传感器焊接外环(9)的底端与悬浮式焊接底座(7)固定相连，所述传感器焊接外环(9)的外壁与壳体焊接环(8)固定相连，所述壳体焊接环(8)的外壁与螺纹连接外壳(10)固定相连，所述悬浮式焊接底座(7)的底端两侧分别与正压腔本体(11)和负压腔本体(...
【专利技术属性】
技术研发人员：张建勋，
申请(专利权)人：浙江亨骏自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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