一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构制造技术

本技术涉及差压传感器技术领域，尤其是一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，包括组合型差压传感器烧结管座，所述组合型差压传感器烧结管座的底部内壁设置有陶瓷填充环，所述组合型差压传感器烧结管座底部与可伐合金垫片相连接，通过差压传感器1kpa到6kpa量程年稳定性可达0.1％，40kpa到3MPa可达0.05％，单向过载可达40MPa。采用悬浮式传感器可提高测量介质温度到120度。采用低膨胀组合型差压传感器烧结管座达到差压传感器芯片低应力高稳定性；量程1kpa到250kpa采用低膨胀低应力合金3J53达到极高的温度稳定性和重复性；采用特殊工艺使正负压腔体内的冲油量保持一致达到两边温度稳定性和一致性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及差压传感器，具体为一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构。

技术介绍

1、差压传感器，作为基本的压力测控现场仪表被广泛应用于诸多领域。随着我国控制工程作业自动化和精细化的提升，对差压传感器的测量精度、测量稳定性和测量可靠性等均提出了新的要求

2、例如授权公告号cn217819158u，一种高稳定差压传感器，上述文件通过芯片组件与传感器基体间采用橡胶圈密封，减少了焊接应力对单晶硅片的影响，提高了产品的测量精度，传感器可通过硅油进行压力的无损传递，提高传感器的稳定性，传感器焊接有中心膜片，能改善传感器的单边过载性能，适用于复杂工况，然而上述文件中的差压传感器结构，无法解决差压传感器长期稳定性较差差，尤其是微小量程1kpa和6kpa和单向过载容易损坏的问题，稳定性差的主要原因是差压传感器芯片应力的问题和中心膜片热稳定型的问题以及正负压腔体冲油量不均匀，抗过载能力差或者过载后不归零主要是保护膜片材质和焊接工艺的问题，本方案采用悬浮式焊接型底座，夹块安装时不受安装应力影响。同时起到耐介质高温。正负压腔采用对称结构和悬浮式焊接底座，减少了冲油量和简化了生产工艺，增加了稳定性和可靠性。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术的问题，而提出的一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、设计一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，包括组合型差压传感器烧结管座，所述组合型差压传感器烧结管座的底部内壁设置有陶瓷填充环，所述组合型差压传感器烧结管座底部与可伐合金垫片相连接，所述组合型差压传感器烧结管座的中部设有悬浮空腔，所述可伐合金垫片的内部设有单晶硅差压芯片，所述组合型差压传感器烧结管座的外壁与传感器焊接外环相连接，所述传感器焊接外环的底端与悬浮式焊接底座固定相连，所述传感器焊接外环的外壁与壳体焊接环固定相连，所述壳体焊接环的外壁与螺纹连接外壳固定相连，所述悬浮式焊接底座的底端两侧分别与正压腔本体和负压腔本体固定相连。

4、优选的，所述正压腔本体的外壁与正压腔测量膜片固定相连。

5、优选的，所述负压腔本体的外壁与负压腔测量膜片固定相连。

6、优选的，所述螺纹连接外壳的外壁顶部加工有螺纹槽。

7、优选的，所述正压腔本体和负压腔本体的底端均与中心抗过载膜片固定相连。

8、本技术提出的一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，有益效果在于：通过差压传感器1kpa到6kpa量程年稳定性可达0.1％，40kpa到3mpa可达0.05％，单向过载可达40mpa。采用悬浮式传感器可提高测量介质温度到120度。采用低膨胀组合型差压传感器烧结管座达到差压传感器芯片低应力高稳定性；

9、量程1kpa到250kpa采用低膨胀低应力合金3j53达到极高的温度稳定性和重复性；

10、采用特殊工艺使正负压腔体内的冲油量保持一致达到两边温度稳定性和一致性。采用低膨胀低应力合金3j53达到高单向过载和过载后回零的问题。采用悬浮式焊接型底座，夹块安装时不受安装应力影响。同时起到耐介质高温，本结构同时解决差压传感器的长期稳定性和单向过载和耐介质高温120度的问题，而且采用悬浮式焊接底座和激光焊接工艺节约了材料和生产人工成本结构简单成本比现有的降低30％倍以上。

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【技术保护点】

1.一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，包括组合型差压传感器烧结管座(1)，其特征在于：所述组合型差压传感器烧结管座(1)的底部内壁设置有陶瓷填充环(6)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)底部与可伐合金垫片(2)相连接，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的中部设有悬浮空腔(3)，所述可伐合金垫片(2)的内部设有单晶硅差压芯片(4)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的外壁与传感器焊接外环(9)相连接，所述传感器焊接外环(9)的底端与悬浮式焊接底座(7)固定相连，所述传感器焊接外环(9)的外壁与壳体焊接环(8)固定相连，所述壳体焊接环(8)的外壁与螺纹连接外壳(10)固定相连，所述悬浮式焊接底座(7)的底端两侧分别与正压腔本体(11)和负压腔本体(14)固定相连。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，其特征在于：所述正压腔本体(11)的外壁与正压腔测量膜片(13)固定相连。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，其特征在于：所述负压腔本体(14)的外壁与负压腔测量膜片(12)固定相连。

4.根据权利要求1所述的一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，其特征在于：所述螺纹连接外壳(10)的外壁顶部加工有螺纹槽(15)。

5.根据权利要求1所述的一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，其特征在于：所述正压腔本体(11)和负压腔本体(14)的底端均与中心抗过载膜片(16)固定相连。

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【技术特征摘要】

1.一种高稳定抗过载悬浮式对称结构差压传感器结构，包括组合型差压传感器烧结管座(1)，其特征在于：所述组合型差压传感器烧结管座(1)的底部内壁设置有陶瓷填充环(6)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)底部与可伐合金垫片(2)相连接，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的中部设有悬浮空腔(3)，所述可伐合金垫片(2)的内部设有单晶硅差压芯片(4)，所述组合型差压传感器烧结管座(1)的外壁与传感器焊接外环(9)相连接，所述传感器焊接外环(9)的底端与悬浮式焊接底座(7)固定相连，所述传感器焊接外环(9)的外壁与壳体焊接环(8)固定相连，所述壳体焊接环(8)的外壁与螺纹连接外壳(10)固定相连，所述悬浮式焊接底座(7)的底端两侧分别与正压腔本体(11)和负压腔本体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建勋，
申请(专利权)人：浙江亨骏自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：