一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构制造技术

本技术涉及多晶金刚石生产技术领域，具体涉及一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构，包括衬底盘，所述衬底盘的内底壁抵接有隔离环，所述隔离环的四周呈环形阵列固定连接有多个延伸板，各组所述延伸板的底部均固定连接有插柱，所述衬底盘的底部开设有凹槽。本技术克服了现有技术的不足，通过隔离环、延伸板和限位杆的设置，使得可以选择不同尺寸的隔离环置于衬底盘的内部，并将对应的各组插柱贯穿各组通孔，接着将各组限位杆分别贯穿各组插孔的内部，从而实现对通孔和隔离环的限位，使得隔离环和衬底盘的底部组成所需内径的衬底，从而有效提高了整个种CVD多晶金刚石波薄膜异质外延衬底的适用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶金刚石生产，具体为一种cvd多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构。

技术介绍

1、金刚石是一种由碳元素组成的矿物，是石墨的同素异形体，也是常见的钻石原身，是自然界中天然存在的最坚硬的物质，而随着科技的不断进步，可以通过微波等离子体化学气相沉积的方式生长人造金刚石，其中放置衬底的基座是一个非常重要的部件及影响因素。

2、目前的cvd多晶金刚石波薄膜异质外延衬底大小固定，导致在生产其他大小的金刚石时就需要使用相应尺寸的衬底，进而造成整个衬底适用性较差。

技术实现思路

1、本技术的目的在于解决或至少缓解现有技术中所存在的适用性较差的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种cvd多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构，包括衬底盘，所述衬底盘的内底壁抵接有隔离环，所述隔离环的四周呈环形阵列固定连接有多个延伸板，各组所述延伸板的底部均固定连接有插柱，所述衬底盘的底部开设有凹槽，所述衬底盘的内底壁呈环形阵列开设有多个与所述凹槽相连通的通孔，各组所述插柱的内部均开设有插孔，各组所述插柱本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构，包括衬底盘(1)，其特征在于：所述衬底盘(1)的内底壁抵接有隔离环(2)，所述隔离环(2)的四周呈环形阵列固定连接有多个延伸板(3)，各组所述延伸板(3)的底部均固定连接有插柱(7)，所述衬底盘(1)的底部开设有凹槽(5)，所述衬底盘(1)的内底壁呈环形阵列开设有多个与所述凹槽(5)相连通的通孔(6)，各组所述插柱(7)的内部均开设有插孔(16)，各组所述插柱(7)分别贯穿各组所述通孔(6)，所述凹槽(5)的内顶壁转动连接有转轴(11)，所述转轴(11)的外壁呈环形陈列固定连接有多个限位杆(8)，各组所述限位杆(8)分别插接于各组所述插孔(1...

【技术特征摘要】

1.一种cvd多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构，包括衬底盘(1)，其特征在于：所述衬底盘(1)的内底壁抵接有隔离环(2)，所述隔离环(2)的四周呈环形阵列固定连接有多个延伸板(3)，各组所述延伸板(3)的底部均固定连接有插柱(7)，所述衬底盘(1)的底部开设有凹槽(5)，所述衬底盘(1)的内底壁呈环形阵列开设有多个与所述凹槽(5)相连通的通孔(6)，各组所述插柱(7)的内部均开设有插孔(16)，各组所述插柱(7)分别贯穿各组所述通孔(6)，所述凹槽(5)的内顶壁转动连接有转轴(11)，所述转轴(11)的外壁呈环形陈列固定连接有多个限位杆(8)，各组所述限位杆(8)分别插接于各组所述插孔(16)的内部。

2.如权利要求1所述的一种cvd多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构，其特征在于：各组所述延伸板(3)的顶部均固定连接有直角板(4)，各组所述直角板(4)均与所述隔离环(2)的外壁固定连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：冯建伟，
申请(专利权)人：中科粉研河南超硬材料有限公司，
类型：新型
国别省市：