下载一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构的技术资料

文档序号:40803512

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本技术涉及多晶金刚石生产技术领域,具体涉及一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构,包括衬底盘,所述衬底盘的内底壁抵接有隔离环,所述隔离环的四周呈环形阵列固定连接有多个延伸板,各组所述延伸板的底部均固定连接有插柱,所述衬底盘的底部开设有凹槽...
该专利属于中科粉研(河南)超硬材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中科粉研(河南)超硬材料有限公司授权不得商用。

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