【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光加工，具体而言，涉及一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法。
技术介绍
1、现阶段，飞秒激光刻蚀方法作为一种常见的材料表面微纳加工手段，已经广泛应用于航空航天、国防科技及能源化工等领域。
2、在相关技术中，主要通过高效刻蚀系统采用飞秒激光技术加工微光学元件，其中，高效刻蚀系统主要包括飞秒激光器、激光偏振调整系统、激光反射镜组、反射式物镜和工作台，其中，工作平台上用于安装待加工的工件，激光偏振调整系统用于使得飞秒激光器输出的飞秒激光光束入射到激光发射镜组，而激光发射镜组用于将飞秒激光光束垂直到反射式物镜以及聚焦到工件的表面，以对工件进行激光加工作业。
3、但是由于激光偏振调整系统调整后的激光本身高斯分布引起的分束不均一性，以使得工件材料表面刻蚀存在不均一性，从而严重影响了对工件的激光刻蚀质量。
技术实现思路
1、本专利技术解决的问题是如何有效提高对工件的激光刻蚀质量。
2、为解决上述问题，本专利技术提供基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，...
【技术保护点】
1.一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，应用于基于激光光束时空调制的高效刻蚀系统，其特征在于，应用于基于激光光束时空调制的高效刻蚀系统包括飞秒激光器(1)、激光偏振调整系统、脉冲整形器(6)、机械快门(7)、第一激光反射镜组、空间光调制器(10)、第二激光反射镜组和工作平台，所述基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，其特征在于，所述激光偏振调整系统包括飞秒半波片(4)和飞秒偏振分光片(5)，所述飞秒激光器(1)、所述飞秒半波片(4)和所述飞秒偏振分光片(5)相对设置；
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【技术特征摘要】
1.一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，应用于基于激光光束时空调制的高效刻蚀系统，其特征在于，应用于基于激光光束时空调制的高效刻蚀系统包括飞秒激光器(1)、激光偏振调整系统、脉冲整形器(6)、机械快门(7)、第一激光反射镜组、空间光调制器(10)、第二激光反射镜组和工作平台，所述基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，其特征在于，所述激光偏振调整系统包括飞秒半波片(4)和飞秒偏振分光片(5)，所述飞秒激光器(1)、所述飞秒半波片(4)和所述飞秒偏振分光片(5)相对设置；
3.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，其特征在于，所述控制脉冲整形器(6)调节所述飞秒激光光束的脉冲延时和能量比参数，以对所述飞秒激光光束进行时域整形包括：
4.根据权利要求1所述的基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，其特征在于，所述调整第一激光反射镜组和第二激光反射镜组的空间角度，以将所述时空整形飞秒激光脉冲聚焦到工件(21)的表面中：
5.根据权利要求4所述的基于激光光束时空调制的高效刻蚀...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨立军，刘亚楠，丁烨，王联甫，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院，
类型：发明
国别省市：
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