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本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，控制飞秒激光器输出飞秒激光光束，通过激光偏振调整系统对所述飞秒激光光束进行准直调节；控制脉冲整形器调节所述飞秒激光光束的脉冲延时和能量比参数，以对所述飞秒激光光束进行...该专利属于哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）授权不得商用。